產(chǎn)品描述

PK3L80-080U是一款超緊湊的亞納米閉環(huán)控制掃描臺，每個軸都經(jīng)過機械預(yù)加載。*的產(chǎn)品設(shè)計非常緊湊，在XYZ運動軸上的運動均可達80µm（閉環(huán)）行程，并且由于柔性機械設(shè)計而實現(xiàn)了無間隙的平行運動。其緊湊的設(shè)計使其是許多應(yīng)用的理想工具，例如：光纖對準(zhǔn)、雙光子聚合和激光寫入應(yīng)用等。

可以選擇使用集成的SGS測量系統(tǒng)來克服遲滯的影響，并且PK3L80-080U定位系統(tǒng)可以配備電容測量系統(tǒng)，PK3L80-080U壓電掃描臺可以輕松地與其他機械定位系統(tǒng)結(jié)合使用。壓電掃描臺是為了滿足超精密定位應(yīng)用的需求。該平移臺采用壓電陶瓷驅(qū)動，以柔性鉸鏈為導(dǎo)向使其結(jié)構(gòu)緊湊、具有無摩擦、無間隙、定位分辨率高等優(yōu)點。

PK3L80-080U系列非常適合從光學(xué)研究到OEM系統(tǒng)的各種應(yīng)用。非常適合即要求有孔徑又對體積有限制的應(yīng)用。

本系列產(chǎn)品種類包括X、Z、XZ、XY、XYZ軸運動系統(tǒng)版本。請參照相關(guān)型號介紹。

選配功能

—可定制轉(zhuǎn)接裝置

—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度

—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系

—可選擇中心孔徑大小

應(yīng)用領(lǐng)域

—掃描顯微鏡

—超分辨率顯微鏡

—掩模、晶圓定位

—干涉測量、測量技術(shù)

—顯微操縱

                   結(jié)構(gòu)原理                                           堆疊形式                                             典型應(yīng)用

PK3L80-080U系列技術(shù)參數(shù)