產(chǎn)品描述

PKWL70-080U是一款超緊湊的亞納米閉環(huán)控制掃描臺(tái)，每個(gè)軸都經(jīng)過機(jī)械預(yù)加載。*的產(chǎn)品設(shè)計(jì)非常緊湊，在XZ運(yùn)動(dòng)軸上的運(yùn)動(dòng)均可達(dá)80µm（閉環(huán)）行程，并且由于柔性機(jī)械設(shè)計(jì)而實(shí)現(xiàn)了無(wú)間隙的平行運(yùn)動(dòng)。其緊湊的設(shè)計(jì)使其是許多應(yīng)用的理想工具，例如：光纖對(duì)準(zhǔn)、雙光子聚合和激光寫入應(yīng)用等。

可以選擇使用集成的SGS測(cè)量系統(tǒng)來(lái)克服遲滯的影響，并且PKWL70-080U定位系統(tǒng)可以配備電容測(cè)量系統(tǒng)，PKWL70-080U壓電掃描臺(tái)可以輕松地與其他機(jī)械定位系統(tǒng)結(jié)合使用。

PKWL70-080U系列非常適合從光學(xué)研究到OEM系統(tǒng)的各種應(yīng)用。非常適合即要求有孔徑又對(duì)體積有限制的應(yīng)用。

本系列產(chǎn)品種類包括X、Z、XZ、XY、XYZ軸運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)版本。請(qǐng)參照相關(guān)型號(hào)介紹。

選配功能

—可定制轉(zhuǎn)接裝置及中心孔徑大小

—可選PZT&Sensor連接器及線纜長(zhǎng)度

—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系

—可選擇XYZ軸版本（80μm）

應(yīng)用領(lǐng)域

—掃描顯微鏡

—超分辨率顯微鏡

—掩模、晶圓定位

—干涉測(cè)量、測(cè)量技術(shù)

—顯微操縱

                    結(jié)構(gòu)原理                                           堆疊形式                                            典型應(yīng)用

PKWL70-080U系列技術(shù)參數(shù)