產(chǎn)品描述

此產(chǎn)品為PK1L60-080U升級產(chǎn)品，具有起相同的功能。顯微鏡中的物鏡對準(zhǔn)通常需要一個開放的中心孔（例如，用于光線通過），PK1L70-080U壓電掃描臺（帶有35mm的中心孔）是針對此類應(yīng)用而開發(fā)的，每個軸都經(jīng)過機械預(yù)加載。*的產(chǎn)品設(shè)計非常緊湊，在X運動軸上的運動可達80µm（閉環(huán)），并且由于柔性機械設(shè)計而實現(xiàn)了無間隙的平行運動。

可以選擇使用集成的SGS測量系統(tǒng)來克服遲滯的影響，并且PK1L70-080U定位系統(tǒng)可以配備電容測量系統(tǒng)，PK1L70-080U壓電掃描臺可以輕松地與其他機械定位系統(tǒng)結(jié)合使用。

PK1L70-080U系列非常適合從光學(xué)研究到OEM系統(tǒng)的各種應(yīng)用。

本系列產(chǎn)品種類包括X、Z、XZ、XY、XYZ軸運動系統(tǒng)版本。請參照相關(guān)型號介紹。

選配功能

—可定制轉(zhuǎn)接裝置及中心孔徑大小

—可選PZT&Sensor連接器及線纜長度

—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系

—可選擇Z、XZ、XY、XYZ軸版本

應(yīng)用領(lǐng)域

—光纖定位

—鏡頭聚焦

—掩模、晶圓定位

—干涉法測量技術(shù)

—納米操縱

                    結(jié)構(gòu)原理                                           疊堆形式                                          典型應(yīng)用

PK1L70-080U系列技術(shù)參數(shù)