產(chǎn)品描述

PS2H45系列由兩維X軸疊加組合，沿X，Y軸提供12、30、50、70或100 µm的運(yùn)動(dòng)范圍。（標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品行程為12μm，其它行程均可定制）。

PS2H45系列納米定位器是我們高速產(chǎn)品線的一部分，可提供大功率控制器，使其進(jìn)行超高速驅(qū)動(dòng)運(yùn)動(dòng)。

PS2H45-012U系列是具有納米級(jí)定位分辨率的高速，多軸，精密納米定位系統(tǒng)。本系列產(chǎn)品提供的多功能性。可選配內(nèi)部位置傳感器進(jìn)行閉環(huán)，可進(jìn)行重復(fù)的位置測(cè)量。

體積小，具有超高諧振頻率，高穩(wěn)定性，高精度使其非常適合需要低噪聲和高速性能的計(jì)量應(yīng)用。參數(shù)可根據(jù)客戶要求定制。

PS2H45-012U系列壓電陶瓷元件直接移動(dòng)工作臺(tái)面，具有高剛性，即使在高負(fù)載下可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定定位。

選配功能

—可定制固定、負(fù)載安裝孔位及轉(zhuǎn)接裝置

—可選PZT&Sensor連接器及線纜長(zhǎng)度

—可選配閉環(huán)(SGS) 位置反饋系

—可提供XZ/XYZ版本

應(yīng)用領(lǐng)域

—高運(yùn)動(dòng)平面度和直線度的納米定位

—測(cè)量、計(jì)量

—掩模/晶圓定位

—表面測(cè)量技術(shù)

                   結(jié)構(gòu)原理                                            位移特性                                             典型應(yīng)用

PS2H45-012U系列技術(shù)參數(shù)