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S-16BF-2M5P精密雙面平面拋光機(jī)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

一、產(chǎn)品用途  光學(xué)玻璃、陶瓷、電子材料及硅片、鍺片、計(jì)算機(jī)磁盤基片等金屬、非金屬等硬脆材料的雙面高精度拋光加工,尤其適用于5〃(φ125mm)以下硅片及同尺寸規(guī)格異形平行平面材料的雙面精密拋光加工

詳細(xì)介紹

  一、產(chǎn)品用途

  光學(xué)玻璃、陶瓷、電子材料及硅片、鍺片、計(jì)算機(jī)磁盤基片等金屬、非金屬等硬脆材料的雙面高精度拋光加工,尤其適用于5〃(φ125mm)以下硅片及同尺寸規(guī)格異形平行平面材料的雙面精密拋光加工。

  二、主要特點(diǎn)

  1.壓力精密控制:PLC+PT +低摩擦氣缸實(shí)現(xiàn)精密壓力控制;

  2.上盤減震裝置:動(dòng)靜態(tài)均適用的減振彈性連接方式;

  3.精密傳動(dòng)系統(tǒng):高精度全齒輪傳動(dòng),高精度軸承支撐;

  4.下盤支撐:高精度結(jié)構(gòu)軸承支撐,提高設(shè)備的精度和運(yùn)行平穩(wěn)性;

  5.免維護(hù):關(guān)鍵器件采用國(guó)產(chǎn)品牌,冗余設(shè)計(jì)安全系數(shù)大;

  6.強(qiáng)制散熱系統(tǒng):采用軸流風(fēng)機(jī)排熱方式,并預(yù)留抽風(fēng)接口,用戶可自行連接

  7.操作便捷:低臺(tái)面、半裸式接液盆便于清洗;下盤具有氣動(dòng)升降功能,滿足了取放工件及調(diào)整游輪嚙合位置的要求

  三、技術(shù)參數(shù)

序號(hào) 項(xiàng)目 規(guī)格參數(shù)
1 下拋盤 尺寸 φ1155mm×φ348mm×50mm
轉(zhuǎn)速 3-60rpm
2 上拋盤 尺寸 φ1155mm×φ348mm×50mm
3 上下盤驅(qū)動(dòng)電機(jī) 15kW AC380V 50Hz 1460rpm(變頻控制)
4 太陽(yáng)輪驅(qū)動(dòng)電機(jī) 2.2kW AC380V 50Hz 1420rpm(變頻控制)
5 游星輪 參數(shù) 英制:DP12 Z=200 α=20°
數(shù)量 5個(gè)
6 供液裝置 攪拌電機(jī) 120W,AC380V
供液泵 1/4HP 容積約40L(雙層)
7 精度指標(biāo) 下拋盤端面跳動(dòng) ≤0.05mm
上、下拋盤平面度 ≤0.02mm
8 水源 純水或自來水
9 電源 18.5kW AC380V 50Hz(總功率)
10 線纜規(guī)格 三相五線制.3×6mm2+2×4mm2
11 氣源 壓縮空氣源 0.5-0.6Mpa,接口φ10mm(外徑)
12 外形尺寸 寬x長(zhǎng)x高:1550mm×2000mm×2740mm
13 重量 約5500Kg

 

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