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詳細(xì)介紹
一、主要用途
主要用于藍(lán)寶石、藍(lán)玻璃、陶瓷片、晶體、半導(dǎo)體及其他硬脆材料的高精度雙面研磨拋光。
二、產(chǎn)品特點
1、壓力精密控制：PLC+PT+電氣比例閥+低摩擦氣缸實現(xiàn)高精度壓力閉環(huán)控制;
2、上盤減震裝置：動靜態(tài)均適用的減震彈性連接方式;
3、下盤支撐：高精度平面流體軸承支撐;
4、銷齒傳動：內(nèi)外齒采用銷齒傳動，延長載體使用壽命，維護(hù)便捷;
5、上、下盤水冷系統(tǒng)：上、下盤采用水冷結(jié)構(gòu)，進(jìn)行溫度控制實現(xiàn)大壓力加工;
6、上盤壓力：1000kg;
7、傳動系統(tǒng)：四電機(jī)同步拖動，上下盤、內(nèi)齒、外齒、(即可正轉(zhuǎn)，也可反轉(zhuǎn))轉(zhuǎn)速可任意設(shè)定，縣有配方功能。
三、技術(shù)參數(shù)
| 序號 | 項目 | 規(guī)格參數(shù) | ||
| 1 | 下盤 | 尺寸 | Φ1252mm×Φ708mm×90mm(研磨) | |
| Φ12660mm×Φ700mm×90mm(拋光) | ||||
| 轉(zhuǎn)速 | 5-70 rpm | |||
| 驅(qū)動電機(jī) | 15kW AC380V 50Hz 1460rpm | |||
| 2 | 上盤 | 尺寸 | Φ1252mm×Φ708mm×90mm(研磨) | |
| Φ1260mm×Φ700mm×90mm(拋光) | ||||
| 轉(zhuǎn)速 | 3-40 rpm | |||
| 驅(qū)動電機(jī) | 11kW AC380V 50Hz 1460rpm | |||
| 3 | 游星輪 | 參數(shù) | 節(jié)距：15.7 Z=64 | |
| 數(shù)量 | 9個 | |||
| 4 | 太陽輪 | 轉(zhuǎn)速 | 3-35 rpm | |
| 驅(qū)動電機(jī) | 2.2kW AC380V 50Hz 1400rpm | |||
| 5 | 齒圈 | 轉(zhuǎn)速 | 3-35 rpm | |
| 驅(qū)動電機(jī) | 4kW AC380V 50Hz 1400rpm | |||
| 升降電機(jī) | 0.75kW AC380V 50Hz 1400rpm | |||
| 升降行程 | 30mm | |||
| 6 | 精度指標(biāo) | 上、下盤平面度 | ≤0.02mm | |
| 下盤端跳 | ≤0.03mm | |||
| 7 | 加工范圍 | 加工尺寸 | Φ280mm | |
| 最小加工厚度 | 0.20mm(≤2"片) | |||
| 整盤承載量 | 18×9=162片（2" 圓片） | |||
| 8 | 水源 | 純水或自來水 | ||
| 9 | 電源 | 功率 | 34kW AC380V 50Hz | |
| 線纜規(guī)格 | 三相五線刮．3×10mm²+2×6mm² | |||
| 10 | 氣源 | 壓力 | 壓縮空氣源0.5-0.6Mpa | |
| 接管口徑 | 接口Φ10mm（外徑） | |||
| 11 | 外形尺寸 | 長×寬×高：2100mm×1600mm×3013mm(含地腳80) | ||
| 12 | 重量 | 約7500Kg | ||
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