1.在線檢測(cè)，方便快捷；

2.大尺寸檢測(cè)空間，適應(yīng)在線整盤加工元件的數(shù)字化品控。

光學(xué)元件加工過程在線檢測(cè)，并實(shí)時(shí)給出面型測(cè)試數(shù)據(jù)，指導(dǎo)精確加工。

測(cè)量結(jié)構(gòu)：斐索干涉立式結(jié)構(gòu)

通光口徑：Φ150mm

光源波長(zhǎng)：632.8nm(進(jìn)口氦氖激光光源)

平面標(biāo)準(zhǔn)鏡：材料：石英；面型精度PV：λ/20

數(shù)字CCD：CCD分辨率1K*1K

對(duì)準(zhǔn)方式：兩點(diǎn)對(duì)準(zhǔn)

對(duì)準(zhǔn)視場(chǎng)：±2°

相移解相方式：機(jī)械相移解相

干涉儀測(cè)試空間尺寸:410mm（長(zhǎng)）*410mm（寬）*210mm（高）