清洗標(biāo)的：
玻璃基板/光學(xué)玻璃
主要材料:
金屬骨架+SUS304不銹鋼殼體，槽體材質(zhì)SUS316不銹鋼
基礎(chǔ)工藝流程:
超聲→超聲→兆聲→鼓泡漂洗→熱水漂洗→慢提拉（烘干）（可增減）
設(shè)備類型：
手動/半自動/全自動（定制）
Footprint : 4000 (W) x 1150 (D) x1200(H) mm（非標(biāo)）
兆聲波清洗不僅保存了超聲波清洗的優(yōu)點(diǎn)，而且克服了它的不足。在清洗時(shí)，由換能器發(fā)出波長為1μm頻率為0.8兆赫的高能聲波。溶液分子在這種聲波的推動下作加速運(yùn)動，瞬時(shí)速度可達(dá)到30cm/s。因此，形成不了超聲波清洗那樣的氣泡,而只能以高速的流體波連續(xù)沖擊晶片表面,使硅片表面附著的污染物的細(xì)小微粒被強(qiáng)制除去并進(jìn)入到清洗液中。兆聲波清洗拋光片可去掉晶片表面上小于0.2μm的粒子,起到超聲波起不到的作用。這種方法能同時(shí)起到機(jī)械擦片和化學(xué)清洗兩種方法的作用。兆聲波清洗方法已成為拋光片清洗的一種有效方法。
