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SMC chiller溫控器冰水機HRS090維修服務

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更新時間:2025-03-31 15:42:47瀏覽次數:271次

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SMC chiller溫控器冰水機HRS090維修服務,半導體專用溫控裝置(Chiller)主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制,主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統構成的一個自我平衡的循環(huán)裝置,屬于生產過程中的溫控設備。

SMC chiller溫控器冰水機HRS090維修服務

半導體專用溫控裝置(Chiller)主要用于半導體制程中對反應腔室溫度的精準控制,主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機和控制系統構成的一個自我平衡的循環(huán)裝置,屬于生產過程中的溫控設備。在常規(guī)PID控制算法的基礎上加入了預測控制技術和自適應控制技術,并采用變頻控制及兩級閉環(huán)節(jié)能控制,顯著地提高了Chiller的穩(wěn)定性、控制精度和響應速度。


SMC chiller溫控器冰水機HRS090維修服務

應用于半導體行業(yè)蝕刻裝置,CMP(工藝機械拋光), 實驗室精密裝置、 高精度測試儀器、醫(yī)美設備、固態(tài)激光器、模具溫控等。

變頻控制,智能PID控制
預測控制及自適應控制
模塊化功能定制,高效節(jié)能
兩級閉環(huán)節(jié)能控制

SMC chiller溫控器冰水機HRS090維修服務 應用領域

激光加工、印刷設備清潔設備、焊接設備分析儀、LCD制造設備、模具溫調、高頻感應加熱設備、X射線(數字式)設備



zonglen半導體器件高低溫測試設備chiller

溫度范圍:-20°C~+90°C

控溫精度:±0.1℃

觸摸屏操作,人機交互界面

連鎖控制、可靠性高

定時運轉、液面降低、停電復位、防凍功能

溫度波動小




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