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詳細(xì)介紹
特點(diǎn)
- 機(jī)械手臂標(biāo)準(zhǔn)臂長：160 mm
- Z軸（升降軸）標(biāo)準(zhǔn)長度：300 mm
- 可搬運(yùn)重量：手臂第3關(guān)節(jié)處基準(zhǔn)4kgf以下
- 適應(yīng)設(shè)備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式
- 配備動作監(jiān)視器
- 控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式
- 全軸使用值編碼器規(guī)格的AC伺服電機(jī)
- S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓
- 晶圓固定方式：真空吸附式，下托式，邊緣夾持式，伯努利非接觸式
- 手指材質(zhì)：CFRP（碳纖維），鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)
- 可以針對被搬運(yùn)物體種類，設(shè)備布局等要求提供優(yōu)選的手指
雙手臂結(jié)構(gòu)，晶圓搬運(yùn)效率更高，可使用AC200伏電壓
應(yīng)用設(shè)備實(shí)例
EFEM；PE-CVD設(shè)備；AOI設(shè)備
規(guī)格
| 被搬運(yùn)物 | ?300 mm晶圓 | ||
|---|---|---|---|
| 手臂 | 旋轉(zhuǎn) | 升降 | |
| 可動范圍* （手臂第3關(guān)節(jié)中心基準(zhǔn)） | 315 mm | 340度 | 300 mm |
| 搬運(yùn)速度 (平均速度)* | 850 mm/sec | 340度/sec | 330 mm/sec |
| 搬運(yùn)速度 (速度)* | 1800 mm/sec | 550度/sec | 500 mm/sec |
| 精度* | 9.82 µm以下 | 0.0015度 | 1.96µm |
| 搬運(yùn)高度* | 674.5 mm（底座固定面到手指上的晶圓安裝面的高度） | ||
| 重復(fù)性精度 | ±0.1 mm以內(nèi) | ||
| 潔凈度 | ISO標(biāo)準(zhǔn) Class 2 (驅(qū)動結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨(dú)立排氣條件下) | ||
| 廠務(wù) | 電源：単相AC200V±10% 3 kVA 真空：優(yōu)于-53 kPa | ||
*測試機(jī)型：MTCR4160-300-AM，使用JEL標(biāo)準(zhǔn)真空吸附式手指
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