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| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地國(guó)外
聯(lián)系方式：張經(jīng)理查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2022-11-16 14:09:59瀏覽次數(shù)：337次
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NIE-3500（A）全自動(dòng)離子束清洗系統(tǒng)
| 產(chǎn)地 | 進(jìn)口 | 售后保修期 | 12個(gè)月 |
|---|---|---|---|
| 銷售區(qū)域 | 全國(guó) |
NIE-3500（A）全自動(dòng)離子束清洗系統(tǒng)產(chǎn)品概述：該系統(tǒng)為全自動(dòng)上下載片，并且通過計(jì)算機(jī)全自動(dòng)實(shí)現(xiàn)工藝控制的緊湊型獨(dú)立的立柜式離子束刻蝕系統(tǒng)，系統(tǒng)具有結(jié)構(gòu)緊湊、功能強(qiáng)大、自動(dòng)化程度高、模塊化設(shè)計(jì)易于維護(hù)、低成本的優(yōu)S。
NIE-3500（A）全自動(dòng)離子束清洗系統(tǒng)產(chǎn)品特點(diǎn)：
低成本
帶預(yù)真空鎖，自動(dòng)上下載片
離子束：高達(dá)2KV/10mA
離子電流密度100-360uA/cm2
離子束直徑：4",5",6"
兼容反應(yīng)及非反應(yīng)氣體(Ar, O2, CF4,Cl2)
J限真空5x10-7Torr
260l/s渦輪分子泵，串接500 l/min干泵
14"不銹鋼或鋁質(zhì)腔體
水冷旋轉(zhuǎn)/傾斜樣品臺(tái)(NIE-3500)
自動(dòng)上下載片（NIE-3500）
基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制
占地面積30"x30"
產(chǎn)品應(yīng)用：
表面處理
離子銑
表面清洗
帶活性氣體的離子束刻蝕： 光柵刻蝕，以及SiO2，Si和金屬的深槽刻蝕
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