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更新時(shí)間:2022-08-30 10:28:43瀏覽次數(shù):1517

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SIOS激光干涉儀是根據(jù)邁克遜干涉測(cè)量原理制成的精密測(cè)量?jī)x器,根據(jù)該原理,兩列具有固定相位差,而且有相同頻率、相同的振動(dòng)方向或振動(dòng)方向之間夾角很小的光相互交疊,將會(huì)產(chǎn)生干涉現(xiàn)象。該干涉現(xiàn)象會(huì)產(chǎn)生明暗相間的干涉條紋,由光電轉(zhuǎn)換元件接收并轉(zhuǎn)換為電信號(hào),經(jīng)處理后由計(jì)數(shù)器計(jì)數(shù),從而實(shí)現(xiàn)對(duì)位移量的檢測(cè)。

其中包括六個(gè)部分:

1 長(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng):SP、SP-DIS、SP-DI、SP-LR、MI、MI-K、LM等
2 結(jié)合長(zhǎng)度和角度測(cè)量干涉儀:SP-15000TR、SP-TR、SP-DS、SP-15000C等
3 穩(wěn)頻激光:SL-02、SL-03、SL-04等
4 校準(zhǔn)平臺(tái)和微納測(cè)量系統(tǒng):NMM-1、EPP、PT等
5 振動(dòng)測(cè)量系統(tǒng):SP-S、NA、LSV等
6 環(huán)境測(cè)量系統(tǒng):LCS等

我們?cè)谶@里為大家提供上述全系列的簡(jiǎn)要說(shuō)明。



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