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詳細(xì)介紹
LuphoScan高速光學(xué)非球面3D測量系統(tǒng)
LuphoScan 260/420 HD測量臺開創(chuàng)了光學(xué)表面高精密計(jì)量的新領(lǐng)域，能夠測量物件角度大至90°度，測量精度高于±50 nm (3σ) 。測量結(jié)果有著的重復(fù)性且低噪音。
可測量坡度的表面、具有不同間距方向的表面、極小的表面例如手機(jī)鏡頭模具?？焖俚摹⒅档眯刨嚨姆乔蛎姹砻娣墙佑|式三維形狀測量。
物件坡度高至90°度，是測量大的、陡峭的和極小的非球面鏡頭（如手機(jī)鏡頭模具）的理想選擇。
Power和PV測定參數(shù)的穩(wěn)定性。
LuphoScan 260/420 HD測量臺開創(chuàng)了光學(xué)表面高精密計(jì)量的新領(lǐng)域，能夠測量物件角度大至90°度，測量精度高于±50 nm (3σ) 。測量結(jié)果有著的重復(fù)性且低噪音。
可測量坡度的表面、具有不同間距方向的表面、極小的表面例如手機(jī)鏡頭模具?？焖俚摹⒅档眯刨嚨姆乔蛎姹砻娣墙佑|式三維形狀測量。
物件坡度高至90°度，是測量大的、陡峭的和極小的非球面鏡頭（如手機(jī)鏡頭模具）的理想選擇。
Power和PV測定參數(shù)的穩(wěn)定性。
| 型號 | LuphScan120 | LuphScan260 | LuphScan420 |
| 測量直徑 | Φ120mm | Φ260mm | Φ420mm |
| 表面形狀 | 球面、非球面、平面、自由曲面 | ||
| 縱向分辨率 | 0.1nm | ||
| 精度 | 50nm | 250nm | 1μmmiu |
| 特點(diǎn) | LuphoScan基于多波長干涉技術(shù)（MWLI）的干涉掃描系統(tǒng)，專為旋轉(zhuǎn)對稱的超精密非接觸3D形狀測量而設(shè)計(jì)。四個(gè)精密工作臺保證靈活精密測量 | ||
| 應(yīng)用范圍 | 各種透鏡，超精密旋轉(zhuǎn)體研磨表面工件等 | ||
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