XENOS 超高精度三次元

XENOS可在各類要求高測量精度的領域使用—從科研機構(gòu)的測量實驗室、航空和航太工業(yè)及光學工業(yè)。

長度測量誤差E0 

0.3 + L/1,000 μm

測量範圍

創(chuàng)新的機械設計

XENOS採用了全新的機械設計理念。與標準橋式測量機不同：Y導軌分佈於側(cè)壁頂部，分離式移動行程軸僅橫樑於Y軸方向移動，更小及恒定的移動重量——與移動式平臺相比堪稱真正的優(yōu)勢。更低及恒定的移動重量造就了加速及高速的統(tǒng)一。

所有軸均採用線性驅(qū)動

XENOS的所有軸均採用線性驅(qū)動。其優(yōu)點：高速、加速極快、定位精度高。結(jié)合超高解析度光學尺技術(shù)，XENOS的線性驅(qū)動可獲得高度穩(wěn)定性及低於100奈米的極高定位精度。

模擬型驅(qū)動

XENOS於Y軸向配備雙線性驅(qū)動系統(tǒng)，得益於蔡司的驅(qū)動技術(shù)可實現(xiàn)優(yōu)異的同步控制。該技術(shù)可據(jù)X軸位置分佈驅(qū)動力。作為控制系統(tǒng)及演算法之結(jié)合，這是在整個測量範圍內(nèi)獲得優(yōu)異的測量精度及運動穩(wěn)定性的關鍵因素。

碳化矽陶瓷

XENOS在與精度密切相關的機器部件上採用創(chuàng)新的碳化矽陶瓷材料。迄今為止，該材料從未在類似產(chǎn)品或精度的測量機器上得到使用。與常規(guī)陶瓷相比，碳化矽陶瓷的熱膨脹性降低約50%，而剛性則可提升30%，同時減重20%。與鋼材相比，碳化矽陶瓷重量降低50%而竟仍可獲得兩倍的剛性。

加強型VAST gold

XENOS採用蔡司VAST gold測量探頭。在研發(fā)過程中，蔡司在測量精度和測量重複度方面對該探頭進行了優(yōu)化。XENOS也採用了新型剛性連接。VAST gold探頭可與長度可達800毫米的測針以及重量高達500克的測針配套使用，包括非對稱型測針。

優(yōu)質(zhì)化的氣浮軸承

全新強化處理氣浮軸承具有優(yōu)異的穩(wěn)定性及測量精度。

改進的電子設計