 機(jī)械結(jié)構(gòu)采用單邊橋式，綜合了橋移動(dòng)式機(jī)型和龍門(mén)式機(jī)型兩種結(jié)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn)，減輕了運(yùn)動(dòng)件的重量，大幅減小了機(jī)器的阿貝誤差；

 工作臺(tái)、橫梁和Z軸均采用天然黑色花崗巖精細(xì)研磨而成，熱膨脹系數(shù)低，溫變小。并使三軸保證相同的熱力學(xué)狀態(tài)，隨溫度成線(xiàn)性變化，避免了測(cè)量空間的形變、扭曲，保證了整機(jī)空間結(jié)構(gòu)的線(xiàn)性和穩(wěn)定性；

 X與Y軸測(cè)量系統(tǒng)布置在同一層面上，以使空間溫差的影響達(dá)到最??；

 全封閉的三軸設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu),預(yù)應(yīng)力空氣軸承環(huán)抱式設(shè)計(jì)，軸承系統(tǒng)采用自清潔配以小孔節(jié)流技術(shù)，保障三軸導(dǎo)軌的高剛性和大承載能力，保障零磨損和流暢的操作；

 有限元分析模塊化設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)，確保穩(wěn)定性的同時(shí)對(duì)于操作和維護(hù)極其方便；整機(jī)一體式設(shè)計(jì)，提高了機(jī)器的抗震性和機(jī)械精度，并確保了機(jī)器設(shè)備的動(dòng)態(tài)性和長(zhǎng)期穩(wěn)定性。