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美得龍（上海）貿(mào)易有限公司
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高真空度等級(jí)適用型傳感器［GN系列］

參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

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更新時(shí)間：2021-09-07 11:26:16瀏覽次數(shù)：276次

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僅用低排氣零件生產(chǎn)的高真空環(huán)境專(zhuān)用定位傳感器。 在真空蒸鍍裝置、濺鍍裝置內(nèi)的晶片、掩膜定位用途中，廣泛為大型半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備制造商所采用。

機(jī)型一覽

代表型號(hào)名稱(chēng) 動(dòng)作形態(tài) 電線方向 下載
GN-PT5M3A A : NO 直型
產(chǎn)品目錄
（PDF）
2D CAD
GN-PT5M3B B : NC
GN-PT5M3A-R A : NO 直角(-R)
GN-PT5M3B-R B : NC

電氣規(guī)格｜ 選購(gòu)件／使用注意事項(xiàng)｜ 技術(shù)指南

主要規(guī)格

接點(diǎn)構(gòu)造 接點(diǎn)型
動(dòng)作形態(tài) A : NO /B：NC
動(dòng)作點(diǎn)的重復(fù)精度 ON?OFF均為0.003mm（范圍）常溫使用時(shí)的數(shù)值
適用真空度／容許烘焙溫度 10-5Pa?。?20℃
預(yù)行程 無(wú)（請(qǐng)用信號(hào)的切換點(diǎn)調(diào)整傳感器的安裝位置）
遲滯 0
機(jī)械壽命 300萬(wàn)次
行程 1.5mm
接觸力 0.5N
接點(diǎn)額定值 DC5V～DC24V　穩(wěn)態(tài)電流10mA以下（沖擊電流20mA以下）

應(yīng)用

真空室

檢測(cè)有無(wú)半導(dǎo)體晶片

 

真空制膜裝置

玻璃基板的定位確認(rèn)

 

太陽(yáng)能發(fā)電（PV）真空裝置

玻璃基板的定位確認(rèn)

 

FPD真空制膜裝置

玻璃基板的對(duì)準(zhǔn)

 

FPD真空制膜裝置

掩膜托盤(pán)的就位檢測(cè)

 

FPD真空制膜裝置

載體的起動(dòng)確認(rèn)

 

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