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武漢華工激光工程有限責(zé)任公司
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半導(dǎo)體襯底缺陷檢測設(shè)備

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地

聯(lián)系方式：張經(jīng)理查看聯(lián)系方式

更新時間：2022-06-28 10:07:43瀏覽次數(shù)：669次

聯(lián)系我時，請告知來自 機床商務(wù)網(wǎng)
面向半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈上游原材料生產(chǎn)企業(yè)、中游晶圓生產(chǎn)企業(yè)，采用獨立開發(fā)的光學(xué)明暗場檢測系統(tǒng)，對半導(dǎo)體原片、外延片、無圖形晶圓的外觀缺陷進行檢測。 檢測精度 7 μm ......
產(chǎn)品優(yōu)勢
  • 01
    適用多種晶圓

    適用于4—8英寸原片、襯底、外延片及無圖形晶圓 


  • 02
    可檢測多種缺陷

    檢測顆粒、凹坑、凸起、劃傷、污點、裂紋等缺陷


  • 03
    分辨精度高

    系統(tǒng)分辨率：1-10μm 


  • 04
    檢測速度快

    無圖形晶圓：缺陷數(shù)量在200個以內(nèi)的情況下，180秒/片


技術(shù)參數(shù)
項目主要技術(shù)參數(shù)
常規(guī)參數(shù)Wafer尺寸標(biāo)配4" , 6"(可擴展4"-8")
料盒數(shù)量雙層，  14 pcs
上下料方式機械手，  Mapping掃描
運動平臺Y行程 350mm，重復(fù)精度 10μm
Z行程 8mm，重復(fù)精度 5μm
產(chǎn)能4" , 140WPH     6" ,  120WPH
檢測性能檢測精度7 μm
相機高分辨率工業(yè)相機
鏡頭高清工業(yè)鏡頭
光源光源
使用環(huán)境供電規(guī)格AC220V，   50Hz
氣源要求0 .5-0 .7Mpa壓縮空氣，  無明顯水汽和油脂
設(shè)備重量溫度15-40℃，  濕度要求30%-70%，  無凝霜
整機尺寸1800mm*1300mm*2250mm


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