主要結(jié)構(gòu)與配置：
　● 機(jī)床軸系采用外置式伺服電機(jī)直驅(qū)形式，主軸為空氣靜壓結(jié)構(gòu)，主軸轉(zhuǎn)速為4000r/min；
　● X軸導(dǎo)軌采用高精度氣浮導(dǎo)軌副，高精度滾珠絲杠副傳動(dòng)；
　● Z軸采用進(jìn)口直線導(dǎo)軌，高精度滾珠絲杠副傳動(dòng)；
　● 切屑冷卻采用噴射油霧冷卻形式。
　● 數(shù)控系統(tǒng)采用FANUC系統(tǒng)，分辨率0.1µm
 

主要技術(shù)指標(biāo)：
　(1) X軸（主位移軸，與主軸成45°角）
　　zui大行程： 150mm
　　直 線 度： 距主軸線10mm內(nèi)0.05μm/10mm
　　在其他范圍： 0.1μm/10mm
　　定位精度： 3μm
　　重復(fù)定位精度： 1μm
　　分辨率： 0.1微米
　(2) Z軸（與主位移軸正交）
　　zui大行程: 100mm
　　直線度： 2μm/100mm
　　定位精度： 3μm
　　重復(fù)定位精度: 1μm
　　分辨率： 0.1微米
　　移動(dòng)速度： 3m/min
　(3) 主軸（工件軸）
　　高精度氣浮軸承直徑： 大于50mm
　　轉(zhuǎn)速： 100-4000轉(zhuǎn)/分鐘
　　徑跳和端跳： 小于0.3微米（2000轉(zhuǎn)/分鐘時(shí)）
　　zui大切削力： 小于1000公斤/平方米
　　移動(dòng)速度： 3m/min