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蘇州清芯卓半導體設(shè)備有限公司
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產(chǎn)品型號
品 牌其他品牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地蘇州市
聯(lián)系方式:楊麗華查看聯(lián)系方式
更新時間:2025-04-03 11:32:44瀏覽次數(shù):21次
聯(lián)系我時,請告知來自 機床商務網(wǎng)產(chǎn)地 | 國產(chǎn) | 售后保修期 | 12個月 |
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銷售區(qū)域 | 全國,華東,華南,華北,華中,東北,西南,西北,港澳臺 |
刻蝕工藝是選擇性地從晶圓表面去除不需要的材料以達到集成電路芯片制造要求的工藝過程。 刻蝕工藝可以分為圖案刻蝕(pattern)與 無圖案刻蝕(blanket)兩 類。 圖案刻蝕是在區(qū)域選擇性地刻蝕材料,從而將晶圓表面上的光刻膠或硬掩模的圖案轉(zhuǎn)移。 無圖案刻蝕則是去除晶圓表面全部或者部分薄膜。
晶片規(guī)格:
2-8〞單、雙cassette
主要材料:
金屬骨架+PP/PVC殼體,槽體材質(zhì)PP/PVDF/PTFE/石英
工藝槽功能:
加熱冷卻+旋轉(zhuǎn)
基礎(chǔ)工藝流程:
KOH→HQDR KOH→QDR H2SO4→QDR
設(shè)備類型:
手動/半自動(定制)
Footprint : 2000 (W) x 1400 (D) x 2000(H) mm(非標)
刻蝕工藝是選擇性地從晶圓表面去除不需要的材料以達到集成電路芯片制造要求的工藝過程。
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