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北京瑞邦精控科技有限公司


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RBZ-SG系列精密Z軸

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參  考  價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品       牌AUSPRECISION

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地北京市

聯(lián)系方式：王欣悅查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2024-04-28 11:35:34瀏覽次數(shù)：470次

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經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：5條

所在地區(qū)：北京北京市

聯(lián)系人：王欣悅 （銷(xiāo)售）

產(chǎn)品簡(jiǎn)介
產(chǎn)地 國(guó)產(chǎn) 應(yīng)用范圍 打磨,銑削,清洗,拋光/去毛刺,服務(wù)型,其他應(yīng)用

RBZ-SG系列精密Z軸
產(chǎn)品特點(diǎn)
垂直平升行程可達(dá)50mm，整體尺寸結(jié)構(gòu)緊湊，速度可達(dá)20mm/s，負(fù)載60kg
高精度交叉滾柱導(dǎo)軌，無(wú)槽無(wú)刷力矩電機(jī)，低膨脹系數(shù)光柵有助實(shí)現(xiàn)納米級(jí)微動(dòng)步距高可靠性驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，使用壽命長(zhǎng)

詳細(xì)介紹

1-8-1，

4-566，

8-70-2。

RBZ-SG系列精密Z軸應(yīng)用領(lǐng)域

RBZ-SG系列是一款長(zhǎng)行程的精密平升Z軸，具有納米級(jí)微動(dòng)步距，高動(dòng)態(tài)性能，結(jié)構(gòu)緊湊，用于晶圓加工及檢測(cè)、飛秒激光加工、測(cè)試測(cè)量、生物工程等高精度行業(yè)。

RBZ-SG系列精密Z軸結(jié)構(gòu)特點(diǎn)

直驅(qū)結(jié)構(gòu)，承載能力大，在一個(gè)長(zhǎng)行程的移動(dòng)范圍，保持盡可能低的高度，優(yōu)化阿貝誤差影響，有助于提高整體精度性能?？谷渥兘徊鏉L柱導(dǎo)軌垂直導(dǎo)向，為提升直線度、Pitch Roll Yaw指標(biāo)提供創(chuàng)新解決方案。

直驅(qū)結(jié)構(gòu)

力矩電機(jī)作為直驅(qū)方式，沒(méi)有皮帶、齒輪、蝸輪蝸桿和彈性聯(lián)軸器中間傳動(dòng)環(huán)節(jié)，RBZ-SG平升Z軸直接托舉負(fù)載運(yùn)動(dòng)，相對(duì)側(cè)升結(jié)構(gòu)Z軸，無(wú)需轉(zhuǎn)接板，負(fù)載重心布置在Z軸中心，有利于運(yùn)行過(guò)程減小俯仰和偏擺的影響。

光柵閉環(huán)反饋

RBZ-SG平升Z軸為雙閉環(huán)反饋，直線光柵和圓光柵相結(jié)合的雙反饋方式，直接測(cè)量工件移動(dòng)時(shí)的誤差，提高了精度性能。

規(guī)格指標(biāo)

型號(hào)

單位

RBZ-20SG

RBZ-35SG

RBZ-50SG

行程

mm

20

35

50

補(bǔ)償后定位精度

Plus (1)

μm

±0.1

±0.15

±0.15

標(biāo)準(zhǔn)值

±1

±1

±1

雙向重復(fù)定位精度

Plus (1)

μm

±0.05

±0.075

±0.075

標(biāo)準(zhǔn)值

±0.5

±0.5

±0.5

直線度 (2)

Plus (1)

μm

±0.5

±0.5

±0.75

標(biāo)準(zhǔn)值

±3

±4

±5

Pitch Roll (2)

Plus (1)

arc sec

±2.5

±2.5

±3.5

標(biāo)準(zhǔn)值

±5

±5

±7

Yaw (2)

Plus (1)

arc sec

±2

±2

±3

標(biāo)準(zhǔn)值

±5

±5

±7

電子分辨率 (3)

nm

0.3 或 5（選配）

速度 (空載) (4)

mm/s

10

10

20

負(fù)載

kg

20

40

60

注：

以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測(cè)試，溫度20℃±1℃，濕度40%~60%RH，振動(dòng)等級(jí)VC-E，測(cè)試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm處，測(cè)試速度5mm/s，Renishaw激光干涉儀測(cè)量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)的精度測(cè)試與負(fù)載尺寸及測(cè)試點(diǎn)高度有關(guān)，環(huán)境的變化會(huì)導(dǎo)致精度變化，如要求非標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試，請(qǐng)咨詢我們。

1. Plus值為高精度指標(biāo)，是標(biāo)準(zhǔn)值的升級(jí)版。

2. 取決于平臺(tái)安裝表面的平面度。

3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。

4. 空載條件下的指標(biāo)，速度取決于負(fù)載大小。




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