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北京瑞邦精控科技有限公司
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北京瑞邦精控科技有限公司
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)
品 牌AUSPRECISION
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地北京市
聯(lián)系方式：王欣悅查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2024-04-28 11:39:24瀏覽次數(shù)：519次
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經(jīng)營(yíng)模式：生產(chǎn)廠家
商鋪產(chǎn)品：5條
所在地區(qū)：北京北京市
聯(lián)系人：王欣悅 （銷(xiāo)售）
| 產(chǎn)地 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用范圍 | 打磨,銑削,清洗,拋光/去毛刺,服務(wù)型,其他應(yīng)用 |
|---|
王欣悅1-8-1；
4-5-6-6；
8702。
QFL-XY系列雙軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)
產(chǎn)品特點(diǎn)
開(kāi)式氣浮疊層結(jié)構(gòu) 結(jié)構(gòu)緊湊、精度高
重復(fù)定位精度±50nm 直線度±0.1μm，平面度±0.15μm
QFL-XY系列雙軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)應(yīng)用領(lǐng)域
QFL-XY系列是一款結(jié)構(gòu)緊湊的雙軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)，用于飛秒激光加工，超精密加工、測(cè)試測(cè)量、高精度掃描、半導(dǎo)體及光子學(xué)等行業(yè)，由于非接觸式運(yùn)動(dòng)，精度高和結(jié)構(gòu)緊湊是行業(yè)內(nèi)的理想選擇。
QFL-XY系列雙軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)結(jié)構(gòu)特點(diǎn)
雙軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)采用開(kāi)式氣浮導(dǎo)軌，直線電機(jī)和光柵尺組成，永磁預(yù)載結(jié)構(gòu)，XY軸疊層具有體積小，精度高、工作點(diǎn)低等特點(diǎn)，能有效降低阿貝誤差。X軸比Y軸寬，作為底軸，整體性能更穩(wěn)定。非接觸式氣浮結(jié)構(gòu)，免維護(hù)運(yùn)行，隨著時(shí)間推移，不會(huì)出現(xiàn)磨損或性能下降。
精度性能
QFL-XY軸雙軸氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的定位精度±0.1μm，雙向重復(fù)定位精度±50nm，直線度±0.1μm，平面度±0.15μm，Pitch Yaw ±0.5arc sec，以上為全行程精度指標(biāo)，由于非接觸式運(yùn)動(dòng)結(jié)構(gòu)，氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的跟隨誤差有了質(zhì)地提升，精度性能得到顯著提高。
線纜管理
使用高質(zhì)量的高柔排線和氣管，線管彎曲半徑產(chǎn)生的擾動(dòng)力影響可忽略不計(jì)，運(yùn)動(dòng)中線纜和氣管不影響氣浮運(yùn)動(dòng)臺(tái)的性能。此外，可提供帶屏蔽高柔線纜，提供系統(tǒng)抗干擾能力。
定制化
根據(jù)應(yīng)用，結(jié)構(gòu)可定制化設(shè)計(jì)，如增加平升或楔形Z軸，轉(zhuǎn)臺(tái)等?？膳渲么罄硎⒘⒅皺M梁，XY軸安裝到大理石基座上，Z軸安裝橋架上?？蛇x配主動(dòng)隔振系統(tǒng)，適合高抖動(dòng)的應(yīng)用領(lǐng)域。
規(guī)格指標(biāo)
型號(hào) | 單位 | QFL-50XY | QFL-100XY | QFL-150XY | ||||
軸系 | — | X | Y | X | Y | X | Y | |
行程 | mm | 50 | 50 | 100 | 100 | 150 | 150 | |
補(bǔ)償后定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | |||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.2 | ±0.2 | ±0.2 | |||||
雙向重復(fù)定位精度 | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.05 | ±0.05 | |||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.1 | ±0.1 | ±0.1 | |||||
直線度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.05 | ±0.05 | ±0.1 | |||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.25 | ±0.25 | ±0.4 | |||||
平面度 (2) | Plus (1) | μm | ±0.1 | ±0.1 | ±0.15 | |||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±0.35 | ±0.4 | ±0.5 | |||||
Pitch Roll Yaw (2) | Plus (1) | arc sec | ±0.35 | ±0.4 | ±0.5 | |||
標(biāo)準(zhǔn)值 | ±1 | ±1 | ±1.5 | |||||
正交性 | Plus (1) | arc sec | 5 | 2 | 2 | |||
標(biāo)準(zhǔn)值 | 10 | 5 | 5 | |||||
電子分辨率 (3) | nm | 0.3 或 5（選配） | ||||||
速度 (空載) (4) | mm/s | 200 | ||||||
加速度 (空載) (4) | m/s2 | 1,（5 定制） | ||||||
負(fù)載 | kg | 10 | ||||||
供氣壓力 (5) | MPa | 0.5±0.05 | ||||||
注：
以上為單軸精度指標(biāo)，在潔凈間內(nèi)測(cè)試，溫度20℃±0.5℃，濕度40%~60%RH，振動(dòng)等級(jí)VC-F，測(cè)試點(diǎn)在負(fù)載板上25mm處，測(cè)試速度10mm/s，Renishaw激光干涉儀測(cè)量及自帶分析方法，多軸系統(tǒng)精度測(cè)試與負(fù)載尺寸及測(cè)試點(diǎn)高度有關(guān)，環(huán)境的變化會(huì)導(dǎo)致精度變化，如要求非標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試，請(qǐng)咨詢(xún)我們。
1. Plus值為高精度指標(biāo)，是標(biāo)準(zhǔn)值的升級(jí)版。
2. 取決于平臺(tái)安裝表面的平面度。
3. 電子分辨率取決光柵尺及控制器的細(xì)分倍數(shù)。
4. 空載條件下指標(biāo)，速度和加速度取決于負(fù)載大小。
5. 為保護(hù)氣浮導(dǎo)軌不建議加裝壓力保護(hù)開(kāi)關(guān)。壓縮空氣必須是清潔的（過(guò)濾至0.25μm或更佳，ISO8573-1），無(wú)水（壓力露點(diǎn)-20℃，ISO8573-1級(jí)別3）及無(wú)油（ISO8573-1級(jí)別1）。
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