主要特長(zhǎng)直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)+高性能構(gòu)造直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)是使用了直線電機(jī)以及直線光柵尺，半性維持其高速高應(yīng)答性能的理想的驅(qū)動(dòng)方式。并且融入了高剛性構(gòu)造以及小型精密床身等。高速高品質(zhì)精SVC回路標(biāo)準(zhǔn)搭載的SVC回路使精加工領(lǐng)域中的加工速度提高2-4倍（與本司原來(lái)的速度相比），并在極間提供均一的放電脈沖。極大提高了加工面積的面粗糙度，使高品質(zhì)暗光面的高速加工變成可能。3面自動(dòng)上下式加工槽采用3面上下式加工槽，使超精密加工的準(zhǔn)備作業(yè)變得容易。另外，通過機(jī)械臂的使用實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化省力化的同時(shí)，最恰當(dāng)?shù)某杀緝?nèi)系統(tǒng)化也成為可能。