機(jī)床商務(wù)網(wǎng)
詳細(xì)介紹
特點(diǎn)
- 儲(chǔ)片盒和片盒間晶圓的無(wú)損傷自動(dòng)搬運(yùn)
- 可選裝針對(duì)減薄晶圓的伯努利手指
- 自動(dòng)識(shí)別儲(chǔ)片盒內(nèi)晶圓和墊紙（層間紙）
- 可自動(dòng)識(shí)別儲(chǔ)片盒內(nèi)晶圓的當(dāng)前高度
- 可滿足客戶對(duì)多個(gè)片盒及不同尺寸晶圓傳輸?shù)男枨?/li>
- 搭載儲(chǔ)片盒自動(dòng)開(kāi)蓋機(jī)構(gòu)（已申請(qǐng)）
- 可對(duì)應(yīng)Achilles Corporation公司生產(chǎn)的儲(chǔ)片盒
- 配備2套高效過(guò)濾裝置(HEPA規(guī)格),確保設(shè)備內(nèi)部潔凈度
- 配備顏色視覺(jué)傳感器,能夠分辨不同顏色的墊片(片間墊紙)
可安全準(zhǔn)確的搬運(yùn)儲(chǔ)片盒的的薄片。
應(yīng)用設(shè)備實(shí)例
半導(dǎo)體工廠生產(chǎn)線
規(guī)格
| 可對(duì)應(yīng)片盒的種類 | 200 mm 儲(chǔ)片盒, 200 mm 片盒 | |||
|---|---|---|---|---|
| 被搬運(yùn)物 | 200 mm 硅晶圓, 200 mm 儲(chǔ)片盒內(nèi)墊片(片間墊片) | |||
| 潔凈度 | ISO標(biāo)準(zhǔn) Class 2 (驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)內(nèi)部獨(dú)立排氣條件下) | |||
| 外形尺寸 | 1100 (寬) x 980 (深) x 1805 (高) | |||
| 廠務(wù) | 電源：AC200V±10% 潔凈氣源：0.5 MPa 250 NL/min 以上 | |||
| 重量 | 600 kg | |||
*我司可以針對(duì)客戶對(duì)晶圓尺寸，儲(chǔ)片盒數(shù)量，是否需要校準(zhǔn)器等不同需求提供定制設(shè)計(jì)。
可對(duì)應(yīng)多家廠商規(guī)格的儲(chǔ)片盒。有關(guān)產(chǎn)品規(guī)格及產(chǎn)品相關(guān)詳細(xì)信息請(qǐng)咨詢我司銷售人員。
機(jī)床商務(wù)網(wǎng)