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技術(shù)文章

干涉儀的主要應(yīng)用范圍

閱讀:572          發(fā)布時(shí)間:2022-8-29

1. 表面的形狀

2. 曲率測(cè)試

3. 表面平整度或表粗糙度

4. 玻璃兩側(cè)的面是否夠平整

5. 角度測(cè)試, 有些光學(xué)組件是有角度的, 可藉此測(cè)量其準(zhǔn)度

6. 應(yīng)力測(cè)試, 例如眼鏡或相機(jī)鏡頭, 當(dāng)必須用其他對(duì)象夾住玻璃時(shí), 可以測(cè)試該玻璃的變形量.

實(shí)例 測(cè)量表面平整性:

如下圖當(dāng)光源由參考面打到待測(cè)物的個(gè)面時(shí)會(huì)反射, 我們看到的是它的差異度, 也因此可以測(cè)量出待測(cè)面的表面平整度.并由計(jì)算機(jī)直接判讀出正確的數(shù)據(jù)結(jié)果.如果我們拿一張不透光的白紙遮住其中一邊的光, 那么被遮住的部分就不會(huì)再有光從下方出現(xiàn), 而只顯示出一部份的反射條紋.



2測(cè)量?jī)?nèi)反射面的平整度:

光源由參考面打到待測(cè)物的個(gè)面時(shí)會(huì)反射,但是也可以打進(jìn)待測(cè)物里面, 經(jīng)由反射的過(guò)程再反射回參考面,也就是說(shuō), 使用同一個(gè)架構(gòu)可以測(cè)量到物體的二面, 那么要知道我們測(cè)量的到底是哪一個(gè)面? 如果我們拿一張不透光的白紙遮住其中一邊的光, 那么被遮住的部份就不會(huì)再有光從下方出現(xiàn), 但會(huì)顯示出沒(méi)被遮住的部份反射條紋, 那么所測(cè)得的就是表面平整度. 而內(nèi)反射的光源是由上方打入待測(cè)物中, 再經(jīng)由反射從下方出來(lái), 所以如果我們拿一張不透光的白紙遮住上方的光, 那么就不會(huì)再有光從下方出現(xiàn), 這樣就能得知目前所測(cè)量的是內(nèi)反射面平整度了.

3 是測(cè)量?jī)?nèi)反射面的角度誤差:

這是X-cube的側(cè)面圖, 理論上都會(huì)盡量要求達(dá)到接近90, 所以我們也可以用干涉儀來(lái)測(cè)量?jī)?nèi)反射面的角度誤差



4 測(cè)量穿透波面的平整度:

光在投影機(jī)中必須是穿透的, 如果X-cube有一些瑕疵的話, 顯示出來(lái)的影像就會(huì)不漂亮, 所以就必須測(cè)量其穿透波的平整度.
當(dāng)光源從上方打出來(lái), 透過(guò)待測(cè)物打到標(biāo)準(zhǔn)反射鏡片時(shí), 再反射回去, 如果待測(cè)物的放置位置是平整的, 那么每一道光都會(huì)循原來(lái)的途徑反射回去, 可能會(huì)分不清楚到底是哪一個(gè)面所產(chǎn)生的干涉條紋. 這時(shí)可以調(diào)整待測(cè)物平臺(tái)的傾斜度, 使部份光不會(huì)進(jìn)到干涉儀中, 那么就可以很清楚的看到干涉條紋了.

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