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詳細介紹
theta-SE 多點量測橢偏儀是一種用於表徵薄膜均勻性的光譜式橢偏儀。它以實惠的價格在緊湊的空間中配備了先進的橢偏量測與電控平臺，達到多點量測wafer的功能，藉此測得多點橢偏參數，與多點的薄膜厚度和折射率數值。具有體積小、數據快速取得、光斑小、軟體操作介面容易等特點，為的多點量測橢偏儀。
多點量測橢偏儀Theta-SE(橢圓儀)特點
- 體積小
- 數據取得快速
- 非破壞性量測
- 同時分析厚度，折射率，消光係數
- 小光斑橢偏儀
- 軟體介面容易操作，內建模型完整
- 的多點量測橢偏儀
- 波長範圍400nm to 1000nm，即時分光
- VCSEL量測
- 氧化物/氮化物薄膜量測
- 金屬氧化層量測（較薄可透光的金屬）
橢偏儀Theta-SE(橢圓儀)
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