兩軸測(cè)量型號(hào)

1010C

2010C

2017C

3017C

4020C

貨號(hào)

MF-A型(2軸)

176-662

176-663

176-664

176-665

176-666

MF-B型(3軸)

176-682

176-683

176-684

176-685

176-686

測(cè)量范圍mm

100*100

200*100

200*170

300*170

400*200

工作臺(tái)尺寸mm

280*280

350*280

410*342

510*342

610*342

載物臺(tái)玻璃尺寸mm

180*180

250*150

270*240

370*240

440*240

目鏡(選件)

10X(視野范圍:24mm),15X(視野范圍:16)20X(視野范圍:12)

物鏡

1X，（3X標(biāo)配），5X-100X的M/BD pian Apo物鏡可選配

分辨率

0.001mm/0.0005mm/0.0001mm/.0001'/.00005'/.00001'

Z軸行程

150mm

220mm

調(diào)焦方式

手動(dòng)調(diào)焦(粗調(diào)焦:30mm/rev、微調(diào)焦：0.2mm/rev.)

測(cè)量精度（20℃）

XY軸:(2.5+0.02L)µm,L為測(cè)量長(zhǎng)度(mm)。

指示精度（20℃）

Z軸:(5+0.04L)µm,L為測(cè)量長(zhǎng)度(mm)。

照明系統(tǒng)

面光照明（反射光）：12V/50W亮度可調(diào)

底光照明（透射光）：12V/50W亮度可調(diào)

臺(tái)面工件承重

10kg

20kg