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詳細介紹
產(chǎn)品參數(shù)：
| 型號 | TS-PL1900 |
| 設(shè)備外形尺寸 | W1920×D1450×H2050(mm){不含三色燈高度} |
| 腔體尺寸 | W1110xD1200xH1450(mm) |
| 腔體容量 | 1900 升 |
| 載物托盤/數(shù)量 | 鋁托盤/4 層 |
| 等離子電源 | 40KHz/40KW |
| 氣體流量控制 | 0-2000mL/m MFC 氣體質(zhì)量流量計精確控制流量 |
| 反應(yīng)氣體 | 2 路（氧氣、氬氣、氮氣等非腐蝕性氣體） |
| 工作真空度 | 20-60Pa |
| 整機功率 | 約60KW |
| 電源 | AC380V,50/60Hz，三相五線 |
產(chǎn)品視頻：
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