自動清洗機(jī)--A-CS-300-上海玖蘇科技有限公司

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最近登錄：2021-05-03

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自動清洗機(jī)--A-CS-300

獨(dú)立的晶圓清洗設(shè)備A-CS-300可對半自動切割機(jī)加工后的晶圓進(jìn)行清洗和吹干。

二流體噴嘴和水平擺臂可實(shí)現(xiàn)優(yōu)異的清洗效果。

●清洗臺盤轉(zhuǎn)速：3,000 min^-1

●可對應(yīng)的框架尺寸：5-12英寸（ACCRETECH標(biāo)準(zhǔn)框架）

●清洗方法：二流體、沖洗水、干燥空氣（擺臂驅(qū)動）

●選配項(xiàng)：高壓水清洗

規(guī)格
框架尺寸	Φ5″toΦ12″(ACCRETECH標(biāo)準(zhǔn)框架)
清洗臺盤轉(zhuǎn)速	30到3000min^-1
二流體清洗	純水（0.3MPa,0.2L/min）+干燥空氣（0.4 MPa,100L/min）
沖洗水壓力	小于0.4 MPa
干燥空氣壓力	小于0.7 MPa


動力
電源	3相 AC 200V 50-60 HZ
消耗功率	3 kVA(Max.)
壓縮空氣	0.5-0.7 MPa,200 NL/min（ANR）
清洗水	0.2-0.5 MPa,2 L/min
尺寸	490^W×650^D×1400^H mm
重量	160KG