由于KrF光刻膠產能受限以及晶圓廠積極擴產等原因，日本信越化學已經向中國大陸多家一線晶圓廠限制供貨KrF光刻膠，甚至已通知部分中小晶圓廠停止供貨KrF光刻膠，國內多家晶圓廠將會面臨KrF光刻膠大缺貨的處境。

多家晶圓廠KrF光刻膠供應緊張

半導體光刻膠是光刻過程的關鍵耗材，光刻膠的質量和性能對光刻工藝有著重要影響，因其技術壁壘高而長期被海外大廠所主導，是半導體國產化的一道大坎。目前光刻膠主要企業(yè)有日本合成橡膠（JSR）、東京應化（TOK）、住友化學、信越化學、陶氏化學等，占*超過85%。

早在今年2月中旬，日本福島發(fā)生7.3級地震發(fā)生后，信越化學KrF光刻膠生產以及海外供貨就受阻，當時下游代理商考慮配合運輸與相關成本提高，調漲新合約報價。

據行業(yè)人士透露，由于地震原因，信越化學KrF光刻膠產線受到很大程度的破壞，至今尚未*恢復生產，在產線受到影響和晶圓廠擴產等多方因素下，信越化學不得不停止向中國大陸幾家晶圓廠供應KrF光刻膠。雖然東京應化（TOK）信越化學海外大部分缺失的KrF光刻膠產能，但目前仍存在不小的缺口。

據悉，半導體光刻膠被日本合成橡膠（JSR）、TOK、住友化學、信越化學，以及美國陶氏化學所主導。JSR是現在大的，技術是的光刻膠龍頭，Intel、三星和臺積電都是JSR核心客戶，I-line、KrF、ArF、EUV光刻膠產品全覆蓋。TOK專注于做光刻膠及配套試劑，在G線、I線，KrF和ArF都有些*。陶氏的光刻膠事業(yè)部已經并入杜邦，客戶是Intel、IBM體系，但在大陸*不是很高。信越化學主要切入點就是從KrF和ArF開始，EUV光刻膠也在開發(fā)，在中國大陸有不少FAB廠客戶。

今年以來，除了臺積電、三星、英特爾、聯(lián)電等晶圓廠積極擴產外，中芯國際、華虹宏力、廣州粵芯等多家本土晶圓廠積極擴產和產能釋放，這也就導致國內光刻膠需求量遠大于本土產量，且差額逐年擴大，尤其是在KrF、ArF等半導體光刻膠。

然而，截至目前，國內能夠批量供應KrF、ArF光刻膠的廠商卻為數不多。根據SEMI數據，日本幾大廠商在g線/i線、KrF、ArF膠市場中*分別為61%、80%、93%，而國內g線/i線自給率約為20%，KrF光刻膠的自給率不足5%，12寸硅片的ArF光刻膠目前尚無國內企業(yè)可以大規(guī)模生產。