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詳細(xì)介紹
P93系列快速*定位臺 是加工微結(jié)構(gòu)表面的關(guān)鍵,它決定了系統(tǒng)可以加工的微結(jié)構(gòu)表面的復(fù)雜程度和加工后的表面精度,所以快速*定位系統(tǒng)FTS必須要能夠?qū)崿F(xiàn)高頻率和高精度的進(jìn)給。
P93 快速*伺服系統(tǒng)內(nèi)部是由 PZT 壓電陶瓷驅(qū)動，其工作原理是利用 PZT 壓電陶瓷的逆壓電效應(yīng)，即在壓電陶瓷的兩極施加電壓，壓電陶瓷沿極化方向產(chǎn)生微形變。PZT 壓電陶瓷具有高分辨率、高響應(yīng)速度、大出力等特性，在微位移領(lǐng)域獲得了廣泛的應(yīng)用。
P93系列快速*定位臺 技術(shù)參數(shù)：
型號 |
尾綴S/C/L-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) |
|
| P93.X70C P93.X70L P93.X70K | P93.X100C P93.X100L P93.X100K |
單位 |
標(biāo)稱行程范圍（0~120V） |
|
| 65 | 95 | μm±20% | |
zui大行程范圍（-20~150V） |
|
| 90 | 120 | μm±20% | |
傳感器類型 |
|
| CAP/LVDT/- | CAP/LVDT/- |
| |
閉/開環(huán)分辨率 |
|
| 7/10/3 | 15/20/10 | nm | |
閉環(huán)線性度 |
|
| 0.05/0.1/- | 0.1/0.15/- | %F.S. | |
閉環(huán)重復(fù)定位精度 |
|
| 0.03/0.05/- | 0.03/0.05/- | %F.S. | |
俯仰/偏航/滾動 |
|
| <15 | <20 | μard | |
推/拉力 |
|
| 400/50 | 300/25 | N | |
運動方向剛度 |
|
| 5 | 3 | N/μm±20% | |
空載諧振頻率 |
|
| 0.15 | 0.2 | kHz±20% | |
閉/開環(huán)空載階躍時間 |
|
| 10/7 | 30/7 | ms±20% | |
閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 |
|
| 50 | 50 | Hz±20% |
*行程 |
|
| 10 | 10 | ||
zui大承載 |
|
| 20 | 20 | kg | |
靜電容量 |
|
| 15 | 15 | μF±20% | |
材質(zhì) |
|
| 鋼 | 鋼 |
| |
重量 |
|
| 4000 | 3500 | g±5% | |
應(yīng)用
• 金剛石鉆頭進(jìn)給 • 精密金屬加工 • 高速工具控制 • FTS快刀伺服車削系統(tǒng)
• 工件定位 • 精密加工與研磨 • 大負(fù)載工件精密定位
特點
• 超高精度 • 承載能力大 • 閉環(huán)精度高 • 高剛度
| 防塵防液滴 | 采用大出力壓電陶 |
| 快速*定位器采用的壓電陶瓷的出力是其他壓電平移臺出力的幾倍。 | |
| 高剛度 | 高精度 |
| 定位器臺體材料采用不銹鋼材質(zhì)以確保加工過程中的穩(wěn)定性，可以 結(jié)構(gòu)穩(wěn)定可靠，加工精度不會因顫動而受影響。 | 不同于振動加工，*位置可以通過內(nèi)置傳感器進(jìn)行反饋 |
| 快速*定位器剛度遠(yuǎn)大于常規(guī)壓電平移臺。 | |
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