三維XYZ向壓電納米定位臺為小體積1~3維壓電定位臺，平臺內(nèi)部采用無摩擦、無空回的柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)構(gòu)，采用有限元仿真分析優(yōu) 化，柔性導(dǎo)向系統(tǒng)具有超高的導(dǎo)向精度，具有高剛性、高負(fù)載、無摩擦、免維護(hù)等特點。壓電定位臺具有的控制精度，分辨率和穩(wěn)定 性可以達(dá)到納米量級，定位穩(wěn)定時間僅為毫秒量級，壓電定位臺為無磁材質(zhì)，使用過程中不受磁場的影響，壓電平臺體積小、結(jié)構(gòu)緊湊易 于集成。

特性：

1~3維自由組合

• 位移行程8μm • 大承載0.8kg • 重復(fù)定位精度可達(dá)納米級

• 亞毫秒響應(yīng)時間

1-3維平移臺

P63系列壓電納米定位臺，包括X、Z、XY、XZ、 XYZ多種運動方式可選。超小體積易于集成配套。

典型應(yīng)用

• 顯微成像 • 納米定位

• 生物技術(shù) • 半導(dǎo)體技術(shù)

• 質(zhì)量保證測試 • 微車削

• 原子力顯微鏡

小體積、高精度、響應(yīng)速度快

P63系列壓電納米定位臺重要的特點是超級精密 且體積非常小巧，尺寸僅為30×24×42mm（X軸尺寸 為30×24×21mm），易于集成到任何掃描儀器中。

P63系列納米定位臺是超高精密納米定位系統(tǒng)，是 為AFM、SPM、STM等顯微掃描納米操作等應(yīng)用而設(shè) 計的，具有超低慣性，響應(yīng)時間可達(dá)0.3ms，可配置 高精度閉環(huán)傳感器進(jìn)行高分辨率高速掃描。

應(yīng)用實例

P63三維納米定位臺已經(jīng)應(yīng)用于基于SEM在線納米切削平臺切削 力測試實驗中。

三維XYZ向壓電納米定位臺技術(shù)參數(shù)：

以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。