美國(guó)ZYGO激光干涉儀DynaFiz

　　新型的ZYGO DynaFiz激光干涉儀是特別設(shè)計(jì)為在有空氣湍流和極點(diǎn)振動(dòng)的環(huán)境中進(jìn)行精確的光學(xué)計(jì)量的優(yōu)化的光學(xué)儀器。DynaFiz 光學(xué)系統(tǒng)的長(zhǎng)壽命，高功率氦氖激光源具有高的光效率，使得相機(jī)的高速快門(mén)能夠“凝結(jié)"振動(dòng)。這種動(dòng)態(tài)才能提供了 在惡劣的環(huán)境中，傳統(tǒng)的時(shí)刻相移技能不可能完成的可靠的測(cè)量。

　　測(cè)長(zhǎng)機(jī)系統(tǒng)：

　　◆測(cè)量功用：精密測(cè)量各種反射面和光學(xué)體系的表面面形、精密測(cè)量光學(xué)體系的傳輸波前

　　◆測(cè)量技能：DynaPhase動(dòng)態(tài)測(cè)量技能；可選形式：機(jī)械相移測(cè)量（PSI）

　　◆校準(zhǔn)體系：

　　◆動(dòng)態(tài)形式：DyanaPhase 對(duì)準(zhǔn)向?qū)?zhǔn)；

　　◆移相形式：快速條紋采樣體系(QFAS) (雙光點(diǎn)定坐落十字線)

　　◆對(duì)準(zhǔn)視場(chǎng)范圍FOV ：±3°

　　◆測(cè)量光束直徑： 4″（102mm）

　　◆光學(xué)中心線 ：4.25″（108mm）

　　◆激光光源：大功率穩(wěn)定氦-氖激光，IIIa 級(jí)

　　◆波長(zhǎng)： 633 nm

　　◆頻率穩(wěn)定度： < 0.0001 nm

　　◆相干長(zhǎng)度 ：＞100m

　　◆成像分辨率：1200 x 1200 像素

　　◆幀速：50Hz（600 x 600 像素：82Hz）

　　◆數(shù)據(jù)形式：10位

　　◆擴(kuò)大：電控塔臺(tái)切換，1X,1.7X,3X

　　◆偏振：挨近圓偏振（1.2：1或者更好）

　　◆光曈調(diào)焦范圍： ±2m

　　◆無(wú)線遙控：聚焦，擴(kuò)大，校準(zhǔn)操控；遙控范圍：15m

　　◆計(jì)算機(jī)和軟件：高性能DELL PC ， Windows7 ， 64 位， ZYGO MetroproTM X軟件

　　◆安裝結(jié)構(gòu)：水平臥式或垂直立式

　　◆附件：參考ZYGO 激光干涉儀附件向?qū)募?，OMP-0463

　　◆尺度(長(zhǎng)x寬x高) ：60 x 31 x 34 cm (23.7 x 12.1 x 13.4 in.)；帶移相器長(zhǎng)度增加9cm（3.6in.）

　　◆重量 ：≤80lb（36 Kg）；帶移相器增加10lb（5kg）

　　◆電源 ：100-240VAC，50/60Hz

　　◆保修期 ：2年

　　技能參數(shù)：

　　◆RMS重復(fù)性：< 0.06 nm, λ/10,000 (2σ)

　　◆RMS波前重復(fù)性：

　　動(dòng)態(tài)形式: < 1.0 nm,λ/600 (mean + 2σ)

　　移相形式: < 0.25 nm,λ/2500 (mean + 2σ)

　　◆像素峰值偏差：

　　動(dòng)態(tài)形式:< 2.0 nm, λ/300 (99.5th %)

　　移相形式: < 0.5 nm, λ/1200 (99.5th %)

　　◆條紋分辨率：

　　動(dòng)態(tài)形式：250 條紋（每種擴(kuò)大倍率）

　　移相形式：500條紋（每種擴(kuò)大倍率）

　　◆曝光時(shí)刻 ：12usec（zui小）

　　◆數(shù)據(jù)采樣速度： ≤82幅數(shù)據(jù)圖像/秒

　　◆LivePhaseTM ：Zernike擬合剖析的實(shí)時(shí)相位信息

　　◆相位影像 記錄≤82幅/秒過(guò)程中的信息，可存儲(chǔ)為AVI格式文件和保留原始數(shù)據(jù)文件

　　◆外部影像：觸發(fā)器 TTL信號(hào)