美國ZYGO白光干與儀8200

　　NewView 8200系列的3D光學(xué)表面輪廓儀能夠提供強壯的多功能的非接觸式光學(xué)表面形貌丈量分析。一切的丈量都無損、快速，并且不需要樣品制備。強壯的分析軟件能夠準(zhǔn)確的描繪和定量分析表面粗糙度、臺階高度、要害尺度和其它形貌特征。 運用zygo的相干掃描干與技術(shù)，NewView 8200系列輪廓儀能夠很簡單的丈量各種原料表面，包含光滑面、粗糙面、平面、斜坡面和臺階面等。

　　體系參數(shù)：

　　◆原理: 非觸摸、三維白光掃描干涉儀

　　◆掃描裝置: 閉環(huán)反饋壓電陶瓷，高線性電容傳感器

　　◆視場:規(guī)范裝備：0.04-16mm，跟物鏡和擴大倍率有關(guān),運用圖像拼接技能可以得到更大范圍

　　◆光源: 均勻成像，高效率，特殊規(guī)劃長壽命白光LED

　　◆物鏡座標(biāo)配:可快速裝卸單物鏡夾具

　　◆控制 :濾光板托架，視場光闌（輔助聚集）

　　◆丈量陣列:標(biāo)配1024×1024 像素；可選分辨率：512×512

　　◆樣件調(diào)查: 液晶顯示屏實時調(diào)查

　　◆精細(xì)聚集 :電控手動和主動聚集

　　◆Z 軸驅(qū)動:直流無刷微步進電機驅(qū)動，100mm 行程,0.1μm 精度

　　◆尺寸:體系尺寸：151×73×61cm ，NewView：81×58×41cm

　　◆分量 :體系分量：約229Kg

　　◆輸入電壓: 100-240VAC,50/60 Hz

　　◆計算機: 帶液晶顯示器的高性能DELL 計算機

　　◆軟件:ZYGO MX軟件

　　◆物鏡座: 標(biāo)配，可快速裝卸單物鏡夾具

　　◆物鏡：1X，2X，2.75X，5.5X，10X，20X，50X，100X。

　　◆塔臺:手動6位塔臺；電控 64位塔臺；

　　◆樣品臺:手動/俯仰/歪斜(±4°)和XY 平移(100mm)和電動/俯仰/歪斜(±4°)和XY 平移(100mm)電動可選

　　◆縱向掃描范圍:150μm，拓寬掃描形式可到20mm,

　　◆縱向分辨率 ＜0.1nm,橫向分辨率 0.34μm（100X物鏡下）

　　◆掃描速度 ≤34μm/sec,與所選的CCD 和掃描形式有關(guān)

　　◆zui大數(shù)據(jù)點: 規(guī)范307200；可選984064；

　　◆RMS 重復(fù)性 ＜0.01 nm， RMSσ

　　◆臺階丈量 準(zhǔn)確度： ≤ 0.8% ;重復(fù)性≤ 0.1% @ 1σ

　　◆測樣品特性:各種材料的外表：通明，不通明，鍍膜,非鍍膜，反射，弱反射

　　◆反射率: 0.5-*

　　◆zui大尺寸: 89×203×203mm(高×寬×長);