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詳細(xì)介紹
特點：
- 兩種手動和一種電動機(jī)柱（配有符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的三個模式控制按鈕）可供選擇，充分利用顯微鏡.大 300 mm 橫向與縱向移動距離和超高 254 mm 垂直深度的優(yōu)勢。
- Axio Imager Vario 能通過物鏡轉(zhuǎn)盤的上下移動來聚焦樣品。這就意味著，即便是較重的樣品，也可以獲得高精準(zhǔn)聚焦精度和可重復(fù)性。
- 借助自動聚焦硬件，您可以精準(zhǔn)快速地聚焦低對比度的反射樣品。
- Axio Imager Vario 與 LSM 700 組合應(yīng)用，以高分辨率無接觸地分析敏感樣品。
- Axio Imager Vario 已通過 DIN EN ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，并滿足潔超凈室等級 5 的要求。
超凈室：
半導(dǎo)體制造與晶圓檢測需要在超凈室內(nèi)完成。根據(jù) DIN EN ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn)，以每立方米的顆粒數(shù)量和大小將其劃分成不同等級。在超凈室應(yīng)用中，Axio Imager Vario 已通過此標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，并滿足超凈室等級 5 的要求。超凈室 ISO 5 等級相當(dāng)于原 FED STD 209E（1992）標(biāo)準(zhǔn)的 100 級。超凈室套件中包含一個 7 孔物鏡轉(zhuǎn)盤、一個顆粒保護(hù)罩及一個防噴嚏保護(hù)罩。
自動聚焦硬件：
集成有 Auto Focus 自動聚焦硬件系統(tǒng)的 Axio Imager Vario 能夠在高達(dá) 12000 µm 的焦點捕獲范圍內(nèi)實現(xiàn)快速精準(zhǔn)的聚焦。在工業(yè)生產(chǎn)和研究的檢測應(yīng)用中，您需要一套聚焦精度能達(dá)到物鏡景深 0.3 倍的高精度聚焦系統(tǒng)。該自動聚集硬件適合于使用反射光、透射光、明場、暗場、偏光、微分干涉相差及斜照明觀察方式的應(yīng)用。
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