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早期的三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)以手動(dòng)型和通過操縱桿控制機(jī)械運(yùn)動(dòng)的機(jī)動(dòng)型為主，當(dāng)時(shí)的控制系統(tǒng)主要完成空間坐標(biāo)值的監(jiān)控與實(shí)時(shí)采樣，隨著計(jì)算機(jī)技術(shù)及數(shù)控技術(shù)的發(fā)展，CNC型控制系統(tǒng)變得日益普及，高精度、高速度、智能化成為三坐標(biāo)坐標(biāo)測(cè)量機(jī)發(fā)展的主要趨勢(shì)。
CNC型控制系統(tǒng)的測(cè)量進(jìn)給是由計(jì)算機(jī)控制的，它不僅可以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)測(cè)量、學(xué)習(xí)測(cè)量、掃描測(cè)量，也可以通過操縱進(jìn)行手工測(cè)量。與手動(dòng)型相比，CNC型控制系統(tǒng)要復(fù)雜得多，它除具備手動(dòng)型所有的空間坐標(biāo)測(cè)量系統(tǒng)、瞄準(zhǔn)系統(tǒng)外，還要實(shí)現(xiàn)對(duì)三軸機(jī)械運(yùn)動(dòng)的控制。同時(shí)要求每個(gè)軸的運(yùn)動(dòng)要求平穩(wěn)可靠，以保證測(cè)量精度。每個(gè)軸的運(yùn)動(dòng)都是由一套伺服系統(tǒng)控制的，要求三軸甚至轉(zhuǎn)臺(tái)精確配合，以實(shí)現(xiàn)聯(lián)動(dòng)，保證按設(shè)定的空間軌跡運(yùn)行，自動(dòng)完成測(cè)量任務(wù)。為確保測(cè)量機(jī)的安全及測(cè)量數(shù)據(jù)的可靠，還要對(duì)測(cè)量機(jī)的運(yùn)行狀態(tài)進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，所有這些都是程序控制實(shí)現(xiàn)的，由于控制復(fù)雜，運(yùn)算及處理量大，用一個(gè)CPU控制，實(shí)時(shí)性很難保證，因此常常由多個(gè)CPU并行處理。