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*，半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝復(fù)雜，光是生產(chǎn)半導(dǎo)體的機(jī)器設(shè)備上的零部件都有成千上萬(wàn)個(gè)，小編今天就帶來(lái)其中一個(gè)零件的生產(chǎn)工藝—NAKANISHI高速主軸對(duì)軸的內(nèi)徑打磨。

                               

                                                  用于半導(dǎo)體生產(chǎn)機(jī)器的軸

                                                  材質(zhì): SUJ2 (軸承鋼）

                                                 軸的孔內(nèi)徑：3.306±0.003

 

                     打磨工具要求：

                    高精度：精度要在6μm以內(nèi)，如果主軸打磨時(shí)精度跳動(dòng)很大，要保證在精度內(nèi)的精密打磨需要時(shí)間。

             NAKANISHI高速主軸EMS-3060K剛好適合此類軸的打磨

                   

           NAKANISHI高速主軸EMS-3060K在保證表面打磨效果前提下，轉(zhuǎn)速可從50,000 min−1 提高到60,000 min−1。精度1 ?內(nèi), 能實(shí)現(xiàn)精密加工，并可延長(zhǎng)*使用壽命.