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　首先采用非衍射光學(xué)直線度誤差測(cè)量?jī)x測(cè)量基準(zhǔn)導(dǎo)軌安裝后的直線度誤差。根據(jù)校正和調(diào)整的原理，即將導(dǎo)軌法調(diào)整到最小二乘中心線法進(jìn)行校正和調(diào)整。

 

　同樣測(cè)量從動(dòng)導(dǎo)軌水平面與鉛垂線平面之間的直線度誤差，用液位計(jì)測(cè)量?jī)蓪?dǎo)軌點(diǎn)的連接線與點(diǎn)的連接線之間的夾角。在調(diào)整兩導(dǎo)軌平行度時(shí)，在從動(dòng)導(dǎo)軌的鉛垂線表面找到一條平行于基準(zhǔn)導(dǎo)軌鉛垂線表面最小二乘中心線的直線。

 

　然后根據(jù)所采用的修正方法，還需要將直線平移到一個(gè)特殊的點(diǎn)上，從而使從動(dòng)導(dǎo)軌相對(duì)于直線的實(shí)際曲線的調(diào)整最小化，從而便于修正。

 

　將平動(dòng)后的直線作為調(diào)整從動(dòng)導(dǎo)軌鉛垂線的參考，根據(jù)從動(dòng)導(dǎo)軌的實(shí)際曲線CD可以計(jì)算出各點(diǎn)對(duì)應(yīng)的調(diào)整量。

 

　采用該方法安裝CPC直線導(dǎo)軌可以大大提高精度，并行度誤差達(dá)到34.2Lm。