3月26日，SEMICON China 2025在上海新國(guó)際博覽中心盛大開幕，來自海內(nèi)外的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)齊聚一堂，共話產(chǎn)業(yè)發(fā)展。本屆展會(huì)展覽面積達(dá)10萬(wàn)平方米，設(shè)有5000個(gè)展位，開展首日就迎來7萬(wàn)多名專業(yè)觀眾。
 

　　匯專也攜【半導(dǎo)體行業(yè)超聲高效加工方案】重磅亮相本屆展會(huì)，展位精彩紛呈，吸引國(guó)內(nèi)外眾多客戶及同行駐足體驗(yàn)和交流。
 

 

        01.獎(jiǎng)項(xiàng)贊助 攜手主辦方挖掘行業(yè)新星

 

　　匯專作為“SEMICON China 2025 產(chǎn)品創(chuàng)新獎(jiǎng)”活動(dòng)支持單位，出席了Gala頒獎(jiǎng)典禮，與行業(yè)朋友們共同見證十家優(yōu)勝企業(yè)的榮耀時(shí)刻。
 

頒獎(jiǎng)典禮
 

　　02. 匠心研發(fā) 推出系列創(chuàng)新產(chǎn)品
 

　　本屆展會(huì)，在T3330展位上，匯專超聲機(jī)床、超聲刀柄、精密刀柄、超硬刀具等多款創(chuàng)新產(chǎn)品悉數(shù)登場(chǎng)，現(xiàn)場(chǎng)還設(shè)置了超聲振動(dòng)體驗(yàn)區(qū)、微孔放大觀察區(qū)等互動(dòng)區(qū)域，以便觀眾直觀了解匯專技術(shù)及加工優(yōu)勢(shì)。
 

　　匯專專注超聲綠色數(shù)控機(jī)床及關(guān)鍵部件的研制已超過二十年，系列超聲綠色數(shù)控機(jī)床針對(duì)硬脆材料、復(fù)合材料及難加工金屬材料具有的加工優(yōu)勢(shì)，可實(shí)現(xiàn)上述材料零件不同加工形式的高效、高質(zhì)、環(huán)保、低成本加工。
 

　　
        本次展出的超聲雕銑加工中心UEM-500配置匯專自主研發(fā)的智能化超聲加工系統(tǒng)，超聲電主軸最高轉(zhuǎn)速40,000rpm，定位精度可達(dá)5μm，重復(fù)定位精度可達(dá)3μm，能夠有效滿足硬脆材料的高光、微小孔超聲加工需求，幫助客戶提升加工效率、降低設(shè)備成本，并帶來更出色的加工效果。
 

         除了超聲機(jī)床，超聲刀柄、精密刀柄、超硬刀具等多款高性能工具也獲得了眾多咨詢。

 

　

       03.超聲方案 突破行業(yè)加工痛點(diǎn)
 

　　在半導(dǎo)體行業(yè)，匯專持續(xù)為全球半導(dǎo)體廠商提供專業(yè)超聲數(shù)控機(jī)床設(shè)備及創(chuàng)新解決方案，這些設(shè)備被應(yīng)用于芯片制造流程中的沉積、刻蝕、離子注入、封測(cè)等多個(gè)環(huán)節(jié)的關(guān)鍵功能部件加工，幫助客戶在生產(chǎn)制造過程中提質(zhì)增效，解決了眾多傳統(tǒng)機(jī)床無(wú)法加工的難題。
 

　　以單晶硅噴淋盤鉆孔加工為例，單晶硅作為硬脆材料，加工過程容易產(chǎn)生崩缺，同時(shí)該工件孔深徑比高達(dá)55:1，加工難度非常大。使用超聲雕銑加工中心UEM-500，搭配超聲加工技術(shù)及整體PCD微鉆，可連續(xù)加工超過1,000個(gè)D0.45x24.75mm的超深微孔(深徑比 55:1)；盲孔加工，入口處目視無(wú)崩缺；孔真圓度達(dá)0.003mm；孔壁粗糙度從Sa6.54μm降低至0.013μm，降低99.8%。
 

　　
        此外，在多晶硅柵極環(huán)加工案例中，采用傳統(tǒng)加工方式進(jìn)行加工，加工效率低，且加工時(shí)槽口容易崩缺，導(dǎo)致產(chǎn)品報(bào)廢率高。匯專方案使用超聲雕銑加工中心UEM-800，搭配超聲加工技術(shù)和科益展DDR立式高速轉(zhuǎn)臺(tái)，順利地解決了客戶的加工難題。加工過程中，超聲輔助加工更穩(wěn)定，切削阻力低，提高了加工效率。同時(shí)，還降低了工件表面的粗糙度，減少崩缺和裂紋，并有效提升內(nèi)圓真圓度。
 

        04.蒞臨展位 參與互動(dòng)贏好禮
 

　　展會(huì)期間，匯專展位還舉行了“55.1秒速大挑戰(zhàn)  贏取華為MatePad”等互動(dòng)游戲，吸引眾多觀眾參與，現(xiàn)場(chǎng)互動(dòng)氣氛十分熱烈。