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當前位置:大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團股份有限公司>>LED行業(yè)>> DSI-L-SC8016LED激光剝離機
參 考 價 | 面議 |
產(chǎn)品型號DSI-L-SC8016
品 牌
廠商性質(zhì)生產(chǎn)商
所 在 地
聯(lián)系方式:市場部查看聯(lián)系方式
更新時間:2022-01-13 15:06:52瀏覽次數(shù):766次
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設(shè)備特點:
1、長焦深,可解決片子翹區(qū)問題
2、高精度高速加工系統(tǒng)
3、全自動上下料
4、低損傷、高良品率
5、工藝參數(shù)可實時調(diào)節(jié)、可存儲
主要參數(shù):
主要參數(shù) | 加工尺寸 | 4/6寸晶圓片 |
加工速度 | 2400~3200mm/s | |
加工精度 | ±1.5μm | |
平臺參數(shù) | 400*600mm | |
激光器參數(shù) | 200KHz | |
Tact time | 4寸片單片加工時間為140S(不包含上下料時間) | |
稼動率 | 98% | |
重大故障間隙時間 | 2H≥ | |
良率 | 95% | |
振鏡及控制系統(tǒng) | 速度: 5000mm/s 精度:±10μm | |
加工方式 | 螺旋式由外往內(nèi) 圓形直線填充方式 |
加工效果:
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