超精密加工里程碑式的經(jīng)典利器，貿(mào)易壁壘產(chǎn)品，中國*，北京海普瑞森自主研發(fā)

——機床特點

    加工元件表面粗糙度可達納米級，口徑zui大可達到350mm，可加工各種高精度平面、球面、非球面及離軸元件和自由曲面元件?？杉庸ゃ~、鋁、單晶鍺、硒化鋅、樹脂、PMMA等材料。在三軸聯(lián)動模式下還可加工離軸元件、柱面、子午面等非回轉(zhuǎn)對稱元件和自由曲面；配以特殊*可以實現(xiàn)微結(jié)構(gòu)元件的加工，如各種衍射元件和菲涅爾透鏡等。

——應(yīng)用領(lǐng)域

    口徑小于350mm的潛艇、艦船、航空觀測用非球面鏡頭、紅外成像類鏡頭的超精密加工。

    加工模具可以對高精度成像的非球面鏡頭進行注塑制作。

    加工銅、鋁類反射鏡，裝備航天衛(wèi)星上的成像觀測用鏡頭，即衛(wèi)星對地望遠鏡。

    加工銅、鋁類自由曲面反射鏡面，改變傳統(tǒng)鏡片設(shè)計理論，是激光等領(lǐng)域的鏡片。

    加工后的表面粗糙度：7-10nm

    形位精度：0.3 μm

    加工的工件直徑：5-350 mm

——機床配置

　  ● PA開放式操作系統(tǒng)；

　  ● 天然花崗巖基座，保證機床*穩(wěn)定性；

　  ● 超精密高剛性空氣靜壓主軸；

　  ● 超精密液體靜壓導(dǎo)軌，具有較好的剛性和阻尼性；

　  ● X/Z軸均采用直線電機驅(qū)動，全閉環(huán)控制；

　  ● 氣浮支承隔振系統(tǒng)zui大的減少外界振動干擾；

——技術(shù)參數(shù)

   （1）Z軸

　　zui大行程： 210mm

　　直線度： 0.2μm/100mm

　　定位精度 0.5μm±0.5μm×Lmm/100mm

　　重復(fù)定位精度： 0.3μm

　　分辨率： 10nm

　　zui大進給速度： 20mm/s

   （2）X軸

　　zui大行程： 210mm

　　直線度： 0.2μm/100mm

　　定位精度 0.5μm±0.5μm×Lmm/100mm

　　重復(fù)定位精度： 0.3μm

　　分辨率： 10nm

　　zui大進給速度： 20mm/s

   （3）C軸

　　高精度氣浮軸承回轉(zhuǎn)精度 0.1μm

　　轉(zhuǎn)速 0-3000rpm

　　轉(zhuǎn)角定位精度 30″

　　轉(zhuǎn)角重復(fù)性定位精度 10″