SuperViewW1白光干涉儀精密測量表面三維形貌能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機(jī)械等等領(lǐng)域。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器。

優(yōu)點

一是非接觸高精密測量，不會劃傷甚至破壞工件；
二是測量速度快，不必像探頭逐點進(jìn)行測量；
三是不必作探頭半徑補正，光點位置就是工件表面測量的位置；
四是對高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu)，可以快速而精確的得到理想的測量結(jié)果。

SuperViewW1白光干涉儀精密測量表面三維形貌的重建算法自動濾除樣品表面噪點，在硬件系統(tǒng)的配合下，分辨率可達(dá)0.1nm。其雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設(shè)計，既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作，可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動，同時內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動，確保儀器在車間也能正常工作。

部分參數(shù)
Z向分辨率：0.1nm
橫向分辨率(0.5λ/NA)：100X~2.5X：0.5um~3.7um
粗糙度RMS重復(fù)性：0.1nm
表面形貌重復(fù)性：0.1nm
臺階測量:重復(fù)性：0.1% 1σ；準(zhǔn)確度：0.75%

在3C領(lǐng)域，SuperViewW1可以測量藍(lán)寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度；
在LED行業(yè)，SuperView W1可以測量藍(lán)寶石、碳化硅襯底表面粗糙度；
在光纖通信行業(yè)，SuperView W1可以測量光纖端面缺陷和粗糙度；
在集成電路行業(yè)，SuperView W1可以測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；
在EMES行業(yè)，SuperView W1可以測量臺階高度和表面粗糙度；
在軍事領(lǐng)域，SuperViewW1可以測量藍(lán)寶石觀察窗口表面粗糙度。

深圳市中圖儀器股份有限公司致力于精密測量、計量檢測等儀器設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。歷經(jīng)了十多年的技術(shù)積累和發(fā)展實踐，專業(yè)覆蓋面廣，專項技術(shù)能力強(qiáng)，具備了從納米到百米為用戶提供精密測量解決方案的能力。