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2025亞洲金屬建筑設(shè)計(jì)與產(chǎn)業(yè)博覽會(huì)
2025-02-20
展會(huì)專題
活動(dòng)專題
展會(huì)專題
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活動(dòng)專題 【機(jī)床商務(wù)網(wǎng)欄目 企業(yè)參展】9月25日，第十二屆半導(dǎo)體設(shè)備與核心部件展示會(huì)(CSEAC 2024)在無錫太湖國際博覽中心舉行。
匯專攜半導(dǎo)體行業(yè)超聲高效加工解決方案精彩亮相，與新老客戶共同分享半導(dǎo)體設(shè)備及核心部件行業(yè)的最新加工技術(shù)和方案，探討合作機(jī)會(huì)。
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創(chuàng)新產(chǎn)品 集結(jié)亮相
此次，匯專帶來了超聲數(shù)控機(jī)床、超聲技術(shù)、精密刀柄、超硬刀具、精密轉(zhuǎn)臺(tái)等系列核心技術(shù)產(chǎn)品，以及多晶硅柵極環(huán)、石英玻璃光纖預(yù)制棒、鋁基碳化硅M2.5螺紋孔樣件等特色工件。
匯專展臺(tái)
同時(shí)，展臺(tái)特設(shè)超聲振動(dòng)體驗(yàn)專區(qū)，通過直觀的演示和互動(dòng)體驗(yàn)，讓觀眾親身感受、體驗(yàn)匯專超聲技術(shù)的原理和加工優(yōu)勢(shì)，吸引了眾多客戶的關(guān)注與咨詢。
超聲振動(dòng)體驗(yàn)專區(qū)
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高效方案 現(xiàn)場(chǎng)體驗(yàn)
匯專帶來的半導(dǎo)體硬脆材料超聲高效加工解決方案，尤其受到關(guān)注。半導(dǎo)體工件的材料一般以單晶硅、多晶硅、碳化硅、石英玻璃、陶瓷、鋁基碳化硅等硬脆性材料為主，加工時(shí)，普遍存在工件易崩缺、刀具壽命低、加工效率低等加工難點(diǎn)。
匯專融合自主研發(fā)的超聲數(shù)控機(jī)床、超聲加工技術(shù)、整體PCD刀具，為半導(dǎo)體行業(yè)客戶量身定制專業(yè)的整體加工方案，成功解決了半導(dǎo)體硬脆材料微小孔、深孔加工等難題，并且能有效幫助客戶縮短加工時(shí)間、改善工件質(zhì)量、提高產(chǎn)品良率，實(shí)現(xiàn)連續(xù)穩(wěn)定加工。
案例1：?jiǎn)尉Ч鑷娏鼙P鉆孔加工
單晶硅作為硬脆性材料，加工過程容易產(chǎn)生崩缺，同時(shí)該工件孔深徑比高達(dá)55:1，加工難度非常大。使用匯專超聲精密雕銑加工中心ULM-600，搭配超聲加工技術(shù)及整體PCD微鉆，可連續(xù)加工超過2,000個(gè)D0.45x24.75mm的超深微孔（深徑比 55:1）；盲孔加工，入口處目視無崩缺；孔真圓度達(dá)0.003mm；孔壁粗糙度從Sa6.54μm降低至0.013μm，降低99.8%。
案例2：多晶硅柵極環(huán)加工
芯片加工中常用的多晶硅零部件，由于加工工序繁多，材料去除量大，而且對(duì)工件表面質(zhì)量和每個(gè)結(jié)構(gòu)之間的公差要求比較高，這要求生產(chǎn)企業(yè)具備極高的機(jī)加工水平。
以多晶硅柵極環(huán)加工為例，采用傳統(tǒng)加工方式進(jìn)行加工，加工效率低，且加工時(shí)槽口容易崩缺，導(dǎo)致產(chǎn)品報(bào)廢率高。
匯專方案使用超聲精密雕銑加工中心ULM-600，搭配超聲加工技術(shù)和科益展DDR立式高速轉(zhuǎn)臺(tái)，順利地解決了客戶的加工難題。加工過程中，超聲輔助加工更穩(wěn)定，切削阻力低，提高了加工效率。同時(shí)，還降低了工件表面的粗糙度，減少崩缺和裂紋，并有效提升內(nèi)圓真圓度。
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多種應(yīng)用 優(yōu)勢(shì)明顯
除了在半導(dǎo)體行業(yè)中的成功應(yīng)用，匯專超聲數(shù)控機(jī)床還可解決各種難加工材料的加工難點(diǎn)和痛點(diǎn)，滿足3+A優(yōu)勢(shì)應(yīng)用場(chǎng)景，對(duì)硬脆材料、復(fù)合材料、難加工金屬材料三種材料的各種加工形式均具有明顯優(yōu)勢(shì)，同時(shí)對(duì)PEEK、鑄鐵、鋁合金、鈦合金、HRC56模具鋼、碳/陶復(fù)合、藍(lán)寶石、碳化硅等所有材料的孔類加工均優(yōu)勢(shì)明顯。
更多精彩案例及產(chǎn)品
敬請(qǐng)繼續(xù)關(guān)注9月26-27日
無錫太湖國際博覽中心B1-T254匯專展位
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