序1 序2 前言
第1篇 氣相沉積技術(shù)基礎(chǔ)及各種氣相沉積技術(shù)
第1章 氣相沉積技術(shù)概述
第2章 化學(xué)氣相沉積技術(shù)
第3章 物流氣相沉積技術(shù)
第4章 等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù)
第5章 氣相沉積設(shè)備
第6章 預(yù)處理主要輔助設(shè)備
第7章 膜層質(zhì)量測(cè)試
第2篇 氣相沉積技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域
第1章 氣相沉積技術(shù)在硬質(zhì)圖層中的應(yīng)用
第2章 氣相沉積技術(shù)在防護(hù)涂層方面的應(yīng)用
第3章 氣相沉積技術(shù)在光學(xué)薄膜領(lǐng)域中的應(yīng)用
第4章 氣相沉積技術(shù)在建筑鍍膜玻璃方面的應(yīng)用
第5章 氣相沉積技術(shù)在太陽(yáng)能利用領(lǐng)域的應(yīng)用
第6章 氣相沉積技術(shù)在集成電路制造中的應(yīng)用
第7章 氣相沉積技術(shù)在信息顯示器件中的應(yīng)用
第8章 氣相沉積技術(shù)在信息存儲(chǔ)領(lǐng)域的應(yīng)用
第9章 氣相沉積技術(shù)在裝飾飾品上的應(yīng)用 參考文獻(xiàn)
20世紀(jì)70～80年代，由于真空技術(shù)、薄膜科學(xué)與技術(shù)和表面物理相結(jié)合，使氣相沉積技術(shù)迅速崛起，亦促進(jìn)了薄膜產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)與應(yīng)用。氣相沉積技術(shù)包括化學(xué)氣相沉積、物理氣相沉積和等離子體化學(xué)氣相沉積。它既是綜合性的應(yīng)用技術(shù)，又涉及到許多跨學(xué)科的理論基礎(chǔ)?？梢哉f(shuō)，目前采用氣相沉積技術(shù)幾乎能在任何基體工件上，按照不同的性能要求，沉積出各種材料的涂層，以滿足實(shí)際應(yīng)用的需要。 當(dāng)今，世界上一些工業(yè)發(fā)達(dá)的國(guó)家，正是由于氣相沉積技術(shù)日新月異地向前發(fā)展，因而在卷纏鍍薄膜產(chǎn)品、塑料金屬化制品、硬質(zhì)涂層工模具、防護(hù)涂層、光學(xué)薄膜、建筑和汽車擋風(fēng)窗玻璃、太陽(yáng)能電池、集成電路、信息顯示和存儲(chǔ)器件等方面都已具有相當(dāng)大的生產(chǎn)規(guī)模。 在我國(guó)，目前直接或間接從事氣相沉積技術(shù)的工程技術(shù)人員、科技工作者人數(shù)很多，跨越輕工、機(jī)械、電子、能源、材料、信息、航空航天等各個(gè)行業(yè)，而且這支隊(duì)伍正在迅速擴(kuò)大。在膜系開(kāi)發(fā)、工藝研究、設(shè)備研制、薄膜質(zhì)量檢測(cè)與機(jī)理研究方面都取得了可喜的成績(jī)。由于氣相沉積技術(shù)與高新技術(shù)密切相關(guān)，而且與許多學(xué)科互相交叉、互相滲透。其中不僅需要大量的人力、物力、財(cái)力，更需要進(jìn)行智力投資，其中包括高水平專業(yè)人才的培養(yǎng)、普遍的知識(shí)更新、在職工程技術(shù)人員與工人的再學(xué)習(xí)等。 《氣相沉積應(yīng)用技術(shù)》的出版，適應(yīng)了我國(guó)氣相沉積技術(shù)發(fā)展以及從事這一領(lǐng)域工作人員的知識(shí)靈新和提高的需要。本書資料齊備新穎、編輯全面系統(tǒng)、論述詳盡深刻。內(nèi)容涉及各種氣相沉積技術(shù)的原理、設(shè)備、工藝、膜層的質(zhì)量檢測(cè)和分析以及在各個(gè)領(lǐng)域的應(yīng)用等方面。相信本書的出版對(duì)于我國(guó)氣相沉積技術(shù)進(jìn)一步的發(fā)展和推廣應(yīng)用將會(huì)產(chǎn)生強(qiáng)有力的推動(dòng)作用。 作為固體表面科學(xué)重要分支的氣相沉積技術(shù)，從物理和化學(xué)反應(yīng)基礎(chǔ)理論角度已發(fā)展到相當(dāng)完善程度。當(dāng)前已開(kāi)發(fā)出一系列在金屬和/或非金屬材料表面牢固沉積異種金屬或非金屬及其化合物，以改善其表面物理和化學(xué)性能的方法。各種氣相沉積從基礎(chǔ)理論到工藝技術(shù)及其在工業(yè)應(yīng)用的縱深延伸，顯然已成為一個(gè)耀眼的高科技領(lǐng)域，被世界先進(jìn)工業(yè)國(guó)家高度重視。 種類繁多的氣相沉積層分別具有高硬度、耐磨損、耐腐蝕、抗高溫氧化、特殊光學(xué)性能、超導(dǎo)性以及獲得悅目色彩的表面裝飾功能，從而在航空、航天、機(jī)械制造、兵器、化工、光學(xué)、電工、計(jì)算機(jī)器械、車輛、建筑、包裝和工藝美術(shù)制件、制品上獲得越來(lái)越廣泛的應(yīng)用。 在我國(guó)，氣相沉積技術(shù)自20世紀(jì)70年代開(kāi)始在氣相沉積技術(shù)的基礎(chǔ)研究、工藝開(kāi)發(fā)、設(shè)備研制、推廣應(yīng)用方面都取得了很大進(jìn)步。有的涂層設(shè)備和氣相沉積產(chǎn)品還推向國(guó)際市場(chǎng)。我國(guó)的材料工程學(xué)者和熱處理工程師在所從事的多年研發(fā)中為氣相沉積技術(shù)的發(fā)展作出了卓越貢獻(xiàn)。 王福貞教授是北京市有突出貢獻(xiàn)專家，在物理氣相沉積理論上有深刻鉆研，在此領(lǐng)域的工業(yè)設(shè)備和關(guān)鍵元器件開(kāi)發(fā)上有豐富的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)和創(chuàng)新。她于三十年前就在北京工業(yè)大學(xué)和北京聯(lián)合大學(xué)從事物理氣相沉積技術(shù)的研究開(kāi)發(fā)，先后進(jìn)行活性反應(yīng)離子鍍膜機(jī)、空心陰極離子鍍膜機(jī)、矩形平面大弧源離子鍍膜機(jī)等工業(yè)設(shè)備的開(kāi)發(fā)，并成功地研發(fā)出柱狀陰極電弧源和陰極電弧源離子滲金屬設(shè)備和工藝，為提高離子滲鍍效率和改善離子沉積設(shè)備性能和沉積效果做出了杰出貢獻(xiàn)。 馬文存研究員級(jí)高級(jí)工程師曾任成都工具研究所涂層技術(shù)研發(fā)部主任，是國(guó)家有突出貢獻(xiàn)專家。他從1971年至今一直從事刀具、模具、機(jī)器易磨損件的化學(xué)氣相沉積基礎(chǔ)理論、工藝技術(shù)及生產(chǎn)設(shè)備的研發(fā)和推廣應(yīng)用，先后承擔(dān)多項(xiàng)國(guó)家重大科研攻關(guān)項(xiàng)目，所獲成果不乏達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平者。他為我國(guó)氣相沉積硬質(zhì)涂層技術(shù)的發(fā)展和實(shí)際應(yīng)用做出了重大貢獻(xiàn)。 王福貞教授和馬文存研究員合著的《氣相沉積應(yīng)用技術(shù)》一書系統(tǒng)地闡述了氣相沉積技術(shù)的理論基礎(chǔ)、各種沉積技術(shù)的原理、工藝過(guò)程、設(shè)備和配套設(shè)施、工件的前處理和后檢驗(yàn)，以及在工業(yè)領(lǐng)域和各種制件、制品上的應(yīng)用效果，介紹了國(guó)際上氣相沉積的最新成就，廣泛收集了我國(guó)的研發(fā)成果，總結(jié)了國(guó)內(nèi)應(yīng)用的成功經(jīng)驗(yàn)，堪稱是氣相沉積技術(shù)在我國(guó)第一本理論結(jié)合實(shí)際、而又特別注重生產(chǎn)應(yīng)用、內(nèi)容十分豐富的杰作。這本書的出版必將進(jìn)一步推動(dòng)我國(guó)氣相沉積技術(shù)的發(fā)展，更有利于在工程技術(shù)人員和工科大專院校教學(xué)中普及氣相沉積知識(shí)，以及擴(kuò)大其在工業(yè)中的應(yīng)用，更能發(fā)揮其節(jié)能節(jié)材的巨大潛力，產(chǎn)生更大的經(jīng)濟(jì)社會(huì)效益。
編輯部：
